판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #9209755

NIKON NSR 2205 EX14C 웨이퍼 스테퍼는 고도로 강력하고 강력한 리소그래피 장비 툴로, 리소그래피 프로세스에 대한 지속적인 운영 및 생산성을 제공합니다. NIKON NSR-2205EX14C 웨이퍼 스테퍼는 최대 0.280 미크론 해상도로 웨이퍼를 측정하고 노출하는 데 사용됩니다. 정밀 광학 장비를 사용합니다. 정밀 광학 장비는 입사 광학 위치에서 최대 24mm, 사각형 모양의 웨이퍼에 최대 14mm 노출됩니다. 스테퍼에는 약간 구부러진 웨이퍼를위한 x2e 회전 (x2e Rotation) 노출 시스템과 웨이퍼의 깊이를 측정하는 유레키 (Eureki) 노출 정렬 자동 초점 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 성능 및 신뢰성을 위해 기계적, 광학적, 전기적 하위 어셈블리를 갖춘 초강형 멀티 챔버 설계로 제작되었습니다. 제어 머신은 웨이퍼를 정확하게 배치하기 위해 6축 정렬 (alignment) 및 11축 정렬 제어 센서 (alignment control sensor) 를 갖춘 견고한 카운터급 도구를 기반으로합니다. NSR-2205 EX14C 는 또한 축 스캔 (axial scan) 및 횡단 스캔 (transverse scan) 을 포함하여 정확한 이미징 기능 및 전체 노출 모델을 구현하기 위한 콜리메이터 에셋을 갖추고 있습니다. 또한, 스테퍼는 고속 처리 장비와 대용량 메모리 용량으로 설계되어 고해상도 (High-Resolution) 패턴화를 가능하게 합니다. 또한 NSR-2205EX14C 는 열 제어 시스템 (히터 모듈) 과 냉각 모듈 (쿨러 모듈) 을 내장하여 냉각 및 균일 한 온도 분배를 지원합니다. 또한 배출량 조절 장치 (Emission Control Unit) 를 사용하여 깨끗하고 오염이 없는 환경을 보장합니다. 또한, "스테퍼 '는 자동 보호" 코우팅 머신' 으로 설계 되어 노출 중 에 "웨이퍼 '가 손상 되지 않도록 보호 할 수 있다. NSR 2205EX 14C 웨이퍼 스테퍼는 고정밀 이미징을 요구하는 모든 리소그래피 (lithography) 를 위한 효율적이고 안정적인 스테퍼입니다. 이 기계는 최대 0.280 미크론 해상도, 곡면 웨이퍼를위한 x2e 회전 노출 도구, 유레키 (Eureki) 노출 정렬 자동 초점 자산, 멀티 챔버 구조 및 고속 처리 모델. 이 시스템은 사용자 편의성, 견고성, 유연성이 매우 뛰어납니다.