판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #9192103

NIKON NSR 2205 EX14C는 다양한 microfabrication 응용 프로그램에 사용할 수있는 5 인치 스테핑 프로젝션 정렬기입니다. 반도체, photomask 및 microdevice 웨이퍼의 기능을 정확하고 반복적으로 패턴화하도록 설계되었습니다. NIKON NSR-2205EX14C는 5 인치 투사 영역을 가지며 최대 6 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 다양한 배율로 작동 할 수 있으며 최대 0.25 미크론 해상도를 제공합니다. 이 기계는 처리량 및 유연성을 높이기 위해 최대 4 개의 이미징 채널을 오버레이할 수 있습니다. 또한 "웨이퍼 '에 불규칙성 을 처리 할 수 있도록 융통성 을 유의 하고 있다. NSR-2205 EX14C는 정밀한 정렬을 보장하는 빔 블랭킹 장비를 갖추고 있습니다. 또한 왜곡을 줄이기 위해 반사 방지 코팅이 있습니다. 이 시스템은 고해상도 LIS (long-wavength Laser Interferometry Unit) 를 사용하여 기판의 위치를 0.1 미크론의 정확도로 측정합니다. 이 기계에는 피에 조 액추에이터 (piezo actuator) 에 의해 구동되는 스테이지가 포함되어 있으며, 이는 높은 수준의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 또한 지터없이 스테이지에 미세 위치 조정이 가능한 Rastek-G 가스 서보 도구가 포함되어 있습니다. NSR 2205 EX14C는 빠른 가속 및 감속을 위해 리니어 모터를 사용하며, 위치 탐지는 매우 정확합니다. 150mm/sec의 처리량으로 시간당 최대 10,000 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 이 자산에는 독점 NIKON SCA (Smart Corneal Alignment) 모델이 포함되어 있어 설정 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 패터닝 웨이퍼 외에도 NIKON NSR 2205 EX 14C는 노화, 증착 및 에칭 프로세스와 같은 다양한 고정밀 마이크로 세공 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. 또한 WES (Wafer Easy Scanning) 모드가 다양하여 자동화된 비접촉 웨이퍼 검사 및 자동 결함 모니터링 및 분류가 가능합니다. 전체적으로 NIKON NSR-2205 EX14C는 모든 종류의 마이크로 패브라이션 어플리케이션에 대해 매우 정확하고 신뢰할 수있는 스테핑 프로젝션 정렬자입니다. 다재다능하고 강력하며, 가장 까다로운 운영 환경을 충족할 수 있도록 설계되었습니다.