판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #9157720

NIKON NSR 2205 EX14C는 웨이퍼 처리에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치는 운영 환경을 위한 고급 리소그래피 (lithography) 기능을 제공하여 처리량을 극대화하는 동시에 운영 비용을 최소화합니다. NIKON NSR-2205EX14C는 다용성 및 고해상도 이미징을 위해 작업 거리가 짧은 G 라인 광학 시스템을 사용합니다. 이 스테퍼는 또한 최대 오버레이 정확도와 속도를 허용하는 5 단계 용량 제어를 특징으로합니다. NSR-2205 EX14C는 최소 4 인치 크기의 최소 기능 크기로 4 인치에서 8 인치 웨이퍼까지 큰 기판을 수용 할 수 있습니다. 0.10 m (초고해상도) 의 초고해상도를 장착하여 뛰어난 전폭 균일성과 다양한 패턴의 뛰어난 오버레이 정렬을 제공합니다. 로컬 패턴화의 경우, 이 웨이퍼 스테퍼에는 매개변수가 다른 여러 필드를 패턴화할 수 있는 다중 필드 (multi-field) 패턴화 기능이 제공됩니다. 하드웨어의 관점에서 NIKON NSR 2205EX 14C는 전기 정적 척 (electro-static chuck) 과 중기판 처리를 위해 향상된 진동 저항 단계를 제공합니다. 초점 메모리 (Focus Memory) 는 렌즈 위치를 빠르게 저장하여 고속 작동을 가능하게 하는 반면, 진동 저항 (Vibration Resistant) 스테이지는 고속 패턴화를 허용합니다. 추가 제어를 위해, 이 장치는 또한 반사 방지 코팅 (Anti-Reflection Coating) 과 공기 베어링 스핀들 (Bist-in air-bearing spindle) 을 특징으로하여보다 정확한 포지셔닝을 제공합니다. 생산성과 관련하여 NIKON NSR 2205 EX 14C는 효율적인 작동을 위해 설계되었으며, 주기 시간은 4 인치 웨이퍼의 경우 1.3 분입니다. 이 장치에는 웨이퍼 회전 (wafer spinning) 메커니즘으로 인한 진동 효과를 줄이기 위해 내장 고조파 보상 모드가 제공됩니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 사용자에게 자동화된 유지 관리 및 모니터링 기능을 제공하여 운영 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있도록 합니다. 전체적으로 NSR 2205EX 14C는 운영 환경에 이상적인 웨이퍼 처리 도구입니다. 고급 리소그래피 기능과 초고해상도 이미징을 통해 정확성과 정확도를 극대화할 수 있습니다. 장거리 G 라인 (G-line) 시스템, 다중 필드 패턴화 기능, 효율적인 운영 기능을 갖춘 이 웨이퍼 스테퍼는 처리량을 극대화하고 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다.