판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #9085237

NIKON NSR 2205 EX14C는 NIKON의 최첨단 웨이퍼 스테퍼로, 다양한 반도체 프로세스에 적합합니다. EX14C 모델은 고해상도, 정확도, 고해상도 성능의 고유한 조합을 제공합니다. 스테퍼의 해상도는 0.1 미크론으로, 가장 진보 된 석판화 및 검사 프로세스를 지원할 수 있습니다. 또한 고해상도는 피쳐 크기의 컴포넌트가 정확한 위치 지정 (positioning) 과 안정적인 공간 관계로 생성되도록 합니다. 스테퍼에는 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 지원할 수있는 6 인치 웨이퍼 챔버가 장착되어 있습니다. 기계의 작동 온도는 최대 80 '로, 정밀도가 높고 손상 없이 작고, 연약하며, 복잡한 부품을 생산할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 8 단계 다중 축 장비가 있으며, 4 개의 선형 모터를 사용하여 움직임의 정확성과 정밀도를 보장합니다. 시스템은 X 축과 Y 축에서 스테퍼를 1m 단위로 이동하여 스텝할 웨이퍼를 정확하게 조작 할 수 있습니다. EX14C는 또한 5 요소 렌즈가 장착 된 세그먼트 형 CCD 카메라를 갖추고 있으며, 스테핑 패턴의 높은 정확성 획득 및 이미징을 가능하게합니다. NIKON NSR-2205EX14C에는 전체 리소그래피 프로세스를 지원하는 강력한 소프트웨어 제품군도 있습니다. 이 소프트웨어를 사용하면 리토그래피 작업 (lithography job) 을 빠르고 정확하게 설정할 수 있고, 원격 제어판 (remote control panel) 에서 스테퍼 (stepper) 를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 데이터 로깅을 위한 통합 데이터 획득 모듈 (Integrated Data Acquisition Module) 과 패턴화 작업을 구성하는 장치 내 작업 편집기 (In-Unit Job Editor) 도 포함되어 있습니다. 또한 NSR-2205 EX14C 웨이퍼 스테퍼는 자동 웨이퍼 처리 기능을 포함한 여러 다른 시스템과 통합 할 수 있습니다. 이 기계는 여러 산업 표준 로봇 암 (robotic arm) 과 함께 작동하여 웨이퍼를 로딩 및 언로드하는 프로세스가 훨씬 쉬워집니다. 이 기능은 대용량, 고정밀 제조 프로세스에 특히 유용합니다. 전반적으로 NSR 2205 EX 14C는 강력하고 정확도가 높은 웨이퍼 스테퍼로, 반도체 산업의 정밀 리소그래피 프로세스에 적합합니다. 스텝퍼의 작고 컴팩트한 디자인, 고해상도 (High Resolution), 내장형 도구 (Integrated Tool) 를 사용하면 높은 처리량을 유지하면서 정확성과 정확도가 높은 복잡하게 설계된 조각을 만들 수 있습니다.