판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14C #293591967

NIKON NSR 2205 EX14C는 집적 회로 생산에 사용되는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 웨이퍼 스테퍼는 고급 기능과 자동화를 갖춘 고품질 사진 해설을 제공합니다. 독특한 디지털 서보 모터 장비 (digital servo-motor equipment) 를 통합하여 스테이지의 정확하고 정확한 움직임을 보장합니다. 디지털 서보 모터 시스템 (Digital servo-motor system) 에는 2 개의 선형 동작 축과 1 개의 회전 축이 포함되어 있으므로 주어진 패턴의 정확하고 정확한 정렬이 가능합니다. 스테퍼는 레이저 정렬 장치 (laser alignment unit) 를 사용하여 인쇄 영역 센터와의 정확한 정렬을 확인합니다. 스테퍼 머신에는 4 축 기하학적 교정 도구 (4축) 가 있으며, 이 도구를 사용하면 프로세스 관련 모터 및 스테이지 분산으로 인해 패턴 왜곡이 교정됩니다. 이 에셋을 사용하면 한 번에 여러 그룹 (group) 의 패턴을 인쇄할 수 있으며, 동일한 패턴을 여러 번 반복할 수 있는 단계 및 반복 (step-and-repeat) 기록 방법도 사용할 수 있습니다. 운영 용량과 반복 능력이 향상됩니다. 스테퍼는 또한 잔물결과 소음을 최소화하는 낮은 진동 모델을 가지고 있습니다. NIKON NSR-2205EX14C의 레이저 정렬 장비에는 2 개의 레이저 헤드와 2 개의 빔이 포함되어 있어 빠른 설정과 향상된 처리량을 제공합니다. 배치 정밀도는 전체 실행 동안 (웨이퍼 크기가 변경될 때도) 변경되지 않을 수 있습니다. 또한, 스테퍼는 디지털 이미지 광원을 사용하는 높은 NA (수치 조리개) 조명 시스템을 갖추고 있으며, 비스듬하고 역방향 이미징에 사용할 수 있습니다. NSR-2205 EX14C 는 신뢰할 수 있는 고정밀 (high-precision) 스테퍼 장치로, 오늘날 반도체 제작 프로세스의 높은 수요를 충족합니다. 니콘 (NIKON) 의 고급 광학 처리 기술과 세심한 주택 설계를 활용하여 이러한 프로세스에 필요한 정확한 사진 해설을 제공합니다. 스텝퍼 (Stepper) 는 AVM (Automated Control and Minimal Maintenance) 을 활용하여 대용량 운영 환경을 구축할 수 있도록 설계되었습니다.