판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX14 #9243870

NIKON NSR 2205 EX14는 반도체 산업에서 광석기 제작 프로세스의 고정밀 포지셔닝 요구 사항을 충족하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 비길 데 없는 정확도 와 속도 로 반도체 "웨이퍼 '에 석판화" 패턴' 을 만들어 낼 수 있다. NIKON NSR-2205 EX14는 NIKON 정제 된 광학 프로젝션 구조를 기반으로하며, 이 구조는 뛰어난 NIKON 오브젝티브 렌즈와 운동 범위가 5jm 이내로 평평한 단계를 사용합니다. 빠른 변경 (quick-change) 정렬 시스템을 통해 4 인치와 6 인치 와퍼 사이에서 빠르게 전환할 수 있으며, 전면 개방 (front-open) 설계를 통해 간편한 로딩과 효과적인 정렬이 단시간에 이루어집니다. NSR-2205 EX 14 에는 자동 패턴 인식 (pattern recognition) 프로그램이 있어 패턴화된 결함을 자동으로 추적 및 수정할 수 있습니다. 또한, 고급 디지털 신호 처리 시스템 (Advanced Digital Signal Processing System) 을 사용하여 정확성을 보장하고 리소그래피 프로세스를 완료하는 데 걸리는 시간을 줄입니다. NIKON NSR 2205 EX 14에는 고정밀 8축 스테이지와 고속 초점 정렬 기능이 장착되어 있습니다. 이것은 다양한 기판 크기와 기술에 걸쳐 최적의 초점을 맞춘 고정밀 (high-precision) 패턴을 제공합니다. 또한, 독특한 주입 잠금 및 렌즈 시스템은 낮은 오프 축 잠금 (off-axis locking) 힘을 제공하여 연장 기간 동안 정확하고 안정적인 위치를 제공합니다. 또한 NSR-2205 EX14 에는 Wafer Pattern Misalignment 를 신속하게 식별하고 신속하게 수정할 수 있는 Multi-Stage 매핑 프로그램이 설치되어 있습니다. 이를 통해 선 모서리 (line edge), 선 너비 거칠기 (line width roughness) 와 같은 중요한 패턴 특성에 대한 프로세스 제어가 더욱 강화됩니다. 마지막으로, NSR 2205 EX 14 는 완벽한 제어 툴을 갖추고 있어 기존 Fabrication 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. 또한 APC 및 AutoPC 와 같은 타사 소프트웨어를 수용할 수 있으며, 이를 통해 최적의 패턴화 제어 및 프로그래밍 가능한 프로세스 자동화가 가능합니다.