판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9251032
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
ID: 9251032
Stepper
Resolution: 280 nm
TEL / TOKYO ELECTRON Mark 8 Coater / Developer system included
Inline left
Wafer specification: Φ8 Orientation flat
Wafer chuck: NIKON Genuine holder
Reticle specification: NIKON Cassette, 6"
PPD
CYMER ELS-5410 Laser.
NIKON NSR 2205 EX12B 웨이퍼 스테퍼는 반도체 리소그래피를위한 고급 도구입니다. 이 도구는 매우 정확하고 안정적인 이미징 성능으로 유명합니다. 반도체 업계의 대규모 생산에 이상적인 "신뢰성 높은 기계 (machine) '다. 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. 광학과 교환 가능한 광학 열이있는 주요 장치. 주 단위는 습도 범위가 15 ~ 80% 인 주변 온도 범위 16 ~ 30C와 같은 여러 고급 기능을 자랑합니다. 캐비닛은 또한 내장 된 동력 층류 흐름 정화 장비와 냉각 시스템 (cooling system) 을 갖춘 자동 청소가 특징입니다. 이 외에도, 주 장치의 치수는 804x1110x1579mm이며 무게는 약 990kg입니다. 교환 가능한 광 열 (optical column) 은 전력 확대/축소 장치를 특징으로하며, 고해상도 이미징을 제공하여 고급 칩 제조에 적합합니다. 전자 승수 질량 분석기 (electron multiplier mass spectrometer) 기술을 사용하여 사용자가 용량을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 기둥에는 고체 렌즈 머신 (solid field lens machine) 이 장착되어 있어 균일성이 우수하여 노출 균일성이 향상됩니다. 또한 이 열에는 진동 간섭을 줄이기 위한 진동 격리 도구가 포함되어 있습니다. 또한 NIKON NSR-2205EX12B는 광시야각 이미징 (field-of-view) 및 자동 렌즈 정렬 에셋과 같은 다양한 정렬 기능을 제공합니다. 또한 가변 노출 시간, 가변 노출 해상도, 가변 노출 속도 및 가변 노출 용량과 같은 정교한 이미징 기능이 있습니다. 노출 광원은 좁은 밴드 HE 또는 Xe 엑시머 레이저에서 선택할 수 있습니다. 결론적으로, NSR-2205 EX12B 는 정확하고, 높은 반복성과, 안정적인 결과를 필요로 하는 고급 칩 제작을 위한 탁월한 선택입니다. 하이엔드 기능, 노출 기능, 고급 정렬 시스템 (Advanced Alignment System) 을 통해 대규모 운영 애플리케이션에 적합합니다.
아직 리뷰가 없습니다