판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9238472
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NIKON NSR 2205 EX12B는 고급 노드 반도체 장치를 제조하도록 설계된 고속 고급 스테퍼 장비입니다. NIKON이 개발 한 NSR-S202X 시리즈 스테퍼 플랫폼의 일부입니다. 이 시스템은 다양한 기능을 갖추고 있어 스테핑 (steping) 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 장치는 정확한 비 접촉 정렬을 위해 KrF 엑시머 레이저를 사용합니다. 이를 통해 리소그래피의 정확한 이동과 패턴화가 가능합니다. 레이저는 또한 더 큰 피쳐 크기에 대한 정확성을 향상시킬 수 있습니다. 기계는 또한 Cool Step 전압 감소 기술을 가지고 있으며, 이는 스테퍼 모터 전압을 최대 50% 줄입니다. 이것은 낮은 진동과 더 정확한 패턴화를 보장합니다. NIKON NSR-2205EX12B 에는 와퍼를 더 높은 해상도 설정으로 스캔 할 수있는 in-situ 웨이퍼 스테이지가 있습니다. 이렇게 하면 피쳐 크기가 작아지고 정확도가 향상됩니다. 또한 12B 단계 단계를 모두 자동으로 정렬하는 200,000 개의 샷 자동 정렬 도구가 있습니다. 에셋에는 고밀도 외부 모서리 정렬 모델 (high-precision outer edge alignment model) 이 포함되어 있어 리소그래피 프로세스를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 이 장비에는 불규칙한 패턴을 감지하는 현장 (in-situ) 단계 안전 검사 기능도 있습니다. NSR-2205 EX12B에는 다양한 렌즈 옵션도 제공됩니다. 여기에는 고해상도 광 설계를 최적화 및 줄일 수 있는 NIKON Optical Design and Imaging 소프트웨어가 포함됩니다. 이 시스템은 산업용으로 설계되었으며 다양한 액세서리 (옵션) 가 제공됩니다. 여기에는 고속 및 높은 정확도 스캔 전략과 고급 제어판이 포함됩니다. 또한 NIKON은 장치에 대한 전문 고객 서비스 및 기술 지원을 제공합니다. NIKON NSR-2205 EX 12 B 스테퍼는 다양한 고급 기능과 기술을 제공하여 정확성과 효율성을 향상시킵니다. 다양한 대용량 애플리케이션 및 기술에 적합합니다. 이 기계는 리소그래피 프로세스의 정확한 제어 및 고정밀 정렬 및 스캐닝 기능을 제공합니다. 또한, 이 도구에는 다양한 렌즈 옵션과 다양한 액세서리가 제공됩니다. 결과적으로, 그것은 다양한 고급 노드 반도체 장치 제조 응용 분야에 완벽한 선택입니다.
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