판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9238314

NIKON NSR 2205 EX12B는 다양한 리소그래피 요구를 수용하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 자동화, 고해상도 이미징 및 뛰어난 반복 기능을 제공합니다. 스테퍼는 고급 E-Beam 핫필드 (E-Beam hotfield) 장비를 사용하여 웨이퍼의 정확한 미세 정렬 및 표면의 매우 미세한 이미징을 제공합니다. NIKON NSR-2205EX12B 무대는 최대 12 인치까지 웨이퍼 크기를 수용 할 수 있으며 웨이퍼의 정확한 증착을 용이하게하는 진공 척 (vacuum chuck) 을 갖추고 있습니다. 스테퍼의 고급 E-Beam 시스템은 웨이퍼에 다중 노출의 최고 정확도, 균일 성 및 반복 성을 제공하도록 설계되었습니다. 이미징 해상도는 0.4 미크론으로, 패턴 및 레이어의 매우 미세한 이미징을 허용합니다. 이 장치는 또한 격자선 스캔 (grid scan) 및 임의 스캔 (random scan) 과 같은 고급 스캔 모드를 수행할 수 있습니다. NSR-2205 EX12B에는 사용자가 미세 튜닝 기능을 제공할 수 있는 파형 생성기가 내장되어 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 대형 LCD 컬러 디스플레이를 갖춘 시스템은 사용자에게 친숙한 제품입니다. 이 도구의 고급 자동화 (Advanced Automation) 기능을 사용하면 스테퍼 기능을 빠르고 쉽게 설정, 작동 및 모니터링할 수 있습니다. NSR-2205 EX 12 B는 고속, 대용량 하드 드라이브 (옵션) 및 고성능 CPU (옵션) 로 구동됩니다. dithering 옵션, multi-sample 옵션, backwards 호환성 옵션 등 여러 가지 고급 기능을 제공합니다. 스테퍼에는 사용자 정의 레시피를 만들 수있는 소프트웨어가 장착되어 있습니다. NSR 2205 EX12B 는 가장 정확한 리소그래피 애플리케이션을 위해 설계된 고급 고해상도 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging), 고해상도 (Fine Alignment) 기능 및 뛰어난 반복 기능을 통해 고급 제조 및 연구 환경에 이상적인 선택이 가능합니다.