판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9235132
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NIKON NSR 2205 EX12B 는 정교한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로서, 전자 기기의 제조 및 조립 과정에서 패턴을 반도체 웨이퍼로 정확하게 전송하는 데 사용됩니다. 이 웨이퍼 스테퍼에는 12 인치 해상도, 통합 광학, 빠른 속도와 정확도로 스테이지의 긴 범위를 이동할 수있는 기능이 있습니다. NIKON NSR-2205EX12B의 고정밀 단계는 최소 5nm (5nm 크기) 및 최소 반복 정확도 (5nm) 로 뛰어난 정확도를 제공합니다. 이 스테퍼는 X-Y 평면에서 최대 2800mm, Z축에서 1000mm (스테이지 속도: 초당 500mm) 까지 이동할 수 있습니다. NSR-2205 EX12B의 통합 광학 시스템은 다양한 기능을 제공합니다. LCD-LED 조명 시스템은 조명 슬릿 스캐닝 정렬 및 LED 실시간 자동 포커싱을 포함한 최첨단 광학 개선에 대해 균일하고 밝은 노출을 제공합니다. 이 스테퍼는 패턴화 된 웨이퍼에 이상적이며, 여기서 스티칭과 오버레이는 높은 정확도와 처리량을 요구합니다. NSR-2205EX12B 의 고속 대용량 성능을 통해 효율성을 극대화할 수 있습니다. 6 채널 빔 전달 시스템에는 3 개의 전자 빔, 2 개의 광선 및 1 개의 레이저 빔이 포함되어 있어 복잡한 패턴을 빠르게 처리 할 수 있습니다. 또한, 규모가 크고 배율이 낮아 경미한 결함을 쉽게 수정할 수 있습니다. NIKON NSR 2205EX 12B는 온보드 자동 정렬, 펄스 동기화 자동 정렬 및 결함 검사와 같은 고급 기능을 통합합니다. 이러한 추가 기능을 통해 처리량을 향상시키고 웨이퍼 손상을 줄일 수 있습니다. 또한 전용 메모리와 고속 통신 처리 능력을 통해 빠른 패턴 확인 (pattern verification) 및 즉각적인 데이터 전송이 가능합니다. 전반적으로 NSR-2205 EX 12 B는 반도체 장치 구성 및 조립에 이상적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 성능, 인체공학적 설계, 통합형 optic 은 뛰어난 정확도, 고속, 넓은 시야를 자랑합니다. 스테퍼의 강력한 처리 능력 (processing power) 과 추가 기능을 통해 웨이퍼 손상을 줄이고 생산성을 높일 수 있습니다.
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