판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9225912

ID: 9225912
웨이퍼 크기: 8"
KrF Stepper, 8" Resolution: 280 nm.
NIKON NSR 2205 EX12B는 대용량 리소그래피 애플리케이션을 위해 설계된 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON NSR-2205EX12B는 실리콘, 쿼츠, GaN 및 폴리머를 포함한 다양한 기판을 이미징하는 데 전례없는 해상도와 정확성을 제공합니다. NSR-2205 EX12B는 12 빔 광학 장비와 확장 가능한 상하단 (upper-and lower-stage) 을 갖추고 있으며, 단계 및 반복 정확도가 ± 8nm 인 NSR-2205 EX12B는 70nm의 업계 최고의 기능 크기로 웨이퍼를 생산할 수 있습니다. NSR 2205EX 12B의 고정밀 이미징 기능은 12 빔 패턴을 생성하고 단일 패스 노출을 허용하는 고유하고 독립적 인 엑시머 레이저 시스템에 의해 활성화됩니다. 이 장치는 또한 18mm x 18mm의 넓은 노출 필드와 시간당 최대 8,000 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 강력한 라인 스캔 메커니즘을 제공합니다. 또한 NSR 2205 EX12B 는 새롭게 개발된 FSL (Full-Field Lithography) 알고리즘을 통해 업계 최고의 생산성과 비용 절감을 위해 단일 마스크를 사용하여 다양한 레이아웃 요소를 협상할 수 있습니다. NSR-2205 EX 12 B는 또한 혁신적인 이미지 더로테이션 머신을 제공하여 병렬 노출 및 단파 (short-wavength) 노출을 가능하게하여 넓은 분야에 걸친 낮은 명암비 이미지를 가능하게합니다. 혁신은 또한 중요한 오정을 수정하고, 훌륭한 해상도와 더 높은 정확도를 제공하는 데 도움이됩니다. 또한 NSR 2205 EX 12B 에는 새롭게 개발된 수정 필터가 장착되어 있는데, 이 필터는 회절 격자 (diffraction-grating) 및 이미지 처리 (optical field) 와 같은 고급 기술을 사용합니다. 고급 생산의 경우 NIKON NSR-2205 EX12B에는 통합 결함 감지 및 검사 도구와 CCD-Free 정렬 에셋이 있습니다. 통합 탐지 모델은 소음 또는 손상된 이미지 영역을 자동화하고 최적의 이미지 품질을 위해 노출을 조정하는 반면, CCD-Free (CCD-Free) 정렬 장비는 마스크 정렬 및 웨이퍼 (Wafer) 배치를 보완하여 매우 정확한 노출 필드를 제공합니다. NIKON NSR 2205 EX 12B는 또한 통합 운영 모니터 및 지원 시스템을 제공하며, 이를 통해 사용자는 노출 시간, 마스크 관리 및 최적화, 고급 데이터 분석, 이미지 개선 및 왜곡 수정, 항복 개선, 결함 관리 등 강력한 고급 기능 및 기능을 활용할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR-2205 EX 12 B는 12 빔 광학 장치, 단일 패스 노출 기능, 통합 결함 감지 및 검사 기계로 뛰어난 해상도와 정확성을 제공하는 차세대 웨이퍼 스테퍼입니다. NIKON NSR 2205EX 12B 는 강력하고, 매우 정교한 플랫폼을 제공하여, 효율성과 생산성을 극대화하는 동시에 비용을 절감할 수 있습니다.
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