판매용 중고 NIKON NSR 2205 EX12B #9201722

NIKON NSR 2205 EX12B는 연구 및 산업 응용을위한 정확한 이미징이 가능한 스캔 전자 현미경 (SEM) 스테퍼입니다. 이 도구는 photoresist, etching, sputtering 및 die 코팅 프로세스와 같은 다양한 패턴 세대에 적합합니다. 이 장치 는 한 번 의 "스윕 '속 에 있는 전체 지역 에 전자보 를 중단 없이 적용 시킨다. 3.2 인치 웨이퍼의 경우 최대 해상도는 0.80äm, 4-8 인치 웨이퍼의 경우 1.25äm입니다. 또한, 기계에는 뒷면 검사 시스템 (backside inspection systems) 과 이미지 투영 광학 (optic) 이 장착되어 있어 원하는 각도로 조정할 수 있습니다. 스테퍼의 스테퍼 크기는 650mm x 500mm이고 스캔 면적은 610mm x 480mm입니다. 한 번에 넓은 면적을 검사하는 데 사용할 수있는 넓은 시야 (field of view) 가 갖춰져 있는데, 이는 검사 과정의 속도를 높이는 데 도움이됩니다. 웨이퍼 노출 시간은 3.2 초로 시작하고 연속 노출로 단축됩니다. 스테퍼에는 샘플 높이에 따라 빔 포커스를 자동으로 조정하는 AF (AutoFocus) 장비가 장착되어 있습니다. 이를 통해 샘플의 정확하고 정확한 정렬 및 이미징이 가능합니다. 스테퍼에는 노출이 완료되면 전자 빔을 자동으로 중지하여 정확한 노출 시간을 보장하는 ABS (Automatic Beam Stop) 시스템도 장착되어 있습니다. NIKON NSR-2205EX12B 는 또한 이미징 성능을 더욱 최적화하기 위해 빠른 조리개 변형을 생성하고 높은 해상도를 제공하는 고효율 리플렉트론 (reflectron) 장치를 갖추고 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테이지와 결합 된 12 축 정렬 마이크로 스테핑 모터는 뛰어난 정확성과 반복 성을 제공합니다. 또한 스테퍼에는 품질 보증 측정이 가능한 전용 진단 머신이 제공됩니다. 이 스테퍼 (stepper) 는 사용자 친화적으로 설계되어 다양한 어플리케이션 레시피를 선택하고 손쉽게 변경할 수 있는 기능을 제공합니다. 또한 이 장치는 눈금자를 기준으로 샘플을 배치하여 정확한 위치를 지정하기 위한 패턴 정렬 (pattern alignment) 및 일치 (matching) 도구를 제공합니다. 또한, NSR2205 는 데이터 처리 속도가 높아 Wafer 운영 시 무중단 운영을 지원합니다. 요약하자면, NSR-2205 EX12B는 정확한 이미지와 정확한 정렬을 제공하는 신뢰할 수 있고 사용자에게 친숙한 SEM 스테퍼입니다. 이 장치는 고해상도 및 빠른 데이터 처리 기능을 갖춘 다양한 패턴 생성 애플리케이션에 적합합니다. NIKON NSR 2205EX 12B 는 연구/산업 애플리케이션에 이상적인 툴입니다.