판매용 중고 NIKON NSR 204B #9411783
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NIKON NSR 204B는 반도체 산업 애플리케이션을 위해 설계된 고해상도 웨이퍼 및 레티클 스테퍼입니다. 5 축 스캐닝 스테이지 포지셔닝을 활용하며, 높은 처리율을 달성하면서 최대 1 nm 의 정확도를 달성 할 수 있습니다. 대규모 스캐닝 (scanning) 범위에서 높은 수준의 성능을 유지하는 독보적인 저왜곡 (low-distortion) 광 장비를 갖추고 있습니다. 또한 듀얼 드라이브 시스템 (Dual-Drive System) 과 무상 (Bearing Free) 단계를 활용하여 안정적이고 반복 가능하며 빠른 스캐닝 성능을 제공합니다. NIKON NSR-204B 스테퍼는 최대 8 인치 크기의 웨이퍼와 레티클을 처리하도록 설계되었습니다. 이 기계는 또한 환경 (environment) 이나 부품 기판 (part substrate) 의 변화에 따른 초점 이동에 관계없이 광학을 효과적으로 초점을 유지하는 기본 자동 초점 장치 (autofocus unit) 를 갖추고 있습니다. 또한 복수 노출, 프로파일 감지, 스티칭, 정렬 및 전압 대비 옵션 (예: 리소그래피 사용 시 유연성 및 해상도 향상) 과 같은 여러 가지 고급 이미징 기능이 있습니다. NSR 204B 에는 고급 프로세스 제어 기능이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 통해 프로세스 엔지니어는 실시간으로 wafer/reticle 정렬을 신속하게 분석하고 확인할 수 있습니다. 또한 고속 이미지 캡처 머신 (Image Capture Machine) 과 고속 데이터 캡처 툴 (Fast Data Capture Tool) 과 사전 정의된 정렬 및 왜곡 수정 매개변수의 라이브러리가 포함되어 있습니다. 또한 NSR-204B 는 포괄적인 소프트웨어 제품군과 함께 제공되며, 사용자는 프로세스 제어, 데이터 관리, 대용량 네트워크에 시스템을 접속할 수 있는 포괄적인 플랫폼을 제공합니다. 사용자는 이 소프트웨어를 통해 스테퍼의 프로세스 시뮬레이션 및 프로그램을 모니터링하고, 기간별 데이터를 액세스하고, 관리할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 204B는 반도체 석판화 처리에서 신뢰할 수 있고 정확한 성능을 추구하는 기업을위한 이상적인 웨이퍼 및 레티클 스테퍼입니다. 광학 (optical), 기계 (mechanical), 소프트웨어 (software) 구성요소의 조합은 정확성과 효율성이 뛰어난 고정밀 부품과 제품을 만들 수 있는 흥미로운 가능성을 열어줍니다. 견고한 설계로 품질, 생산성 증대, 유지 보수 편의성을 보장하여 기업에 탁월한 투자 효과를 제공합니다.
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