판매용 중고 NIKON NSR 204B #9350967

NIKON NSR 204B는 집적 회로 및 관련 제품 제조에 사용되는 반도체 석판화 도구입니다. 그것 은 "패턴 '을 재료 의" 웨이퍼' 로 옮기는 데 사용 되어 집적 회로 에서 전자 특성 을 정의 할 수 있다. NIKON NSR-204B는 NIKON NSR-S203B 단계 및 스캔 장비를 기반으로합니다. 2 차원 (2D) 정렬 렌즈와 조명기 (Lightumination Unit) 를 사용하여 광학 기계를 통해 레티클의 마스크 패턴을 이미지화하는 고급 이미징 시스템입니다. 이 기기는 해상도, 정렬 정확도 및 처리량이 개선 된 NIKON S203B 버전입니다. 니콘 S203B (NIKON S203B) 에 비해 처리량이 높아 집적 회로를 제조할 때 처리 시간이 더 빨라집니다. NSR 204B 도구는 스캐너, 정렬 및 조명 (A&I) 헤드, 레티클 스테이지 및 레티클 스테이지 및 광학으로 구성됩니다. 스캐너에는 레티클, 레티클 정렬 렌즈, 레티클 위치 모니터, 파장 세계 스캐닝 CRT 및 투영 렌즈로 구성된 표준 광학 레이아웃이 있습니다. 스캐너는 여러 개의 레티클을 처리 할 수 있으며, 동시에 여러 번 노출 될 수 있습니다. A&I (Alignment and Illumination) 헤드에는 거울, 렌즈 및 레티클 패턴을 투영하고 조명하는 데 사용되는 여러 광원이 포함되어 있습니다. "렌즈 '는 특정 한 무늬 로" 레티클' 에 빛 에 초점 을 맞추는 데 사용 된다. 미러는 특정 조명 각도를 기울일 수 있으며, 이는 패턴의 정확성을 보장합니다. 레티클 스테이지 (Reticle Stage) 는 투영 렌즈에 있는 레티클의 안전한 배치 및 정확한 정렬에 사용됩니다. 레티클의 위치는 레이저 자산을 사용하여 모니터링하고 제어합니다. NSR-204B의 광학에는 수차 교정 투영 렌즈와 현장 평평 프리즘이 포함됩니다. 투영 렌즈는 레티클 패턴을 웨이퍼에 이미지화하는 데 사용됩니다. 필드 병합 프리즘 (field flattening prism) 은 영상 과정에서 수차를 제거하기 위해 필드를 병합하는 데 사용됩니다. NIKON NSR 204B는 직경 6 인치에서 8 인치까지 다양한 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한 온도가 낮은 환경으로, 이미지 무결성 및 처리 속도가 뛰어납니다. 전반적으로 NIKON NSR-204B는 다양한 웨이퍼 크기를 처리하고 뛰어난 해상도, 처리량, 정렬 정확도를 제공하는 고정밀 석판화 도구입니다. 이 제품은 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 관련 부품의 생산에 이상적인 선택입니다.