판매용 중고 NIKON NSR 204B #293805264

NIKON NSR 204B는 와퍼에 광학을 통합하기 위해 특별히 설계된 다중 필드, 고정밀 마이크로 리토 그래피 스테퍼입니다. NIKON NSR-204B 는 고급 다중 필드 정렬 및 초점 제어, 높은 처리량 및 반복성, 복잡한 반도체 디바이스의 생산에 대한 정확성과 생산성을 보장하는 등 다양한 고해상도 스테퍼 (고해상도) 기능을 제공합니다. NSR 204B 의 고급 정렬 시스템 (Advanced Alignment System) 은 넓은 영역에 여러 필드를 정렬하여 정확한 동작 및 추적 정확도를 높입니다. 또한 빠른 위치 감지 (Position Sensing) 및 정렬 수정 (Alignment Correction) 기능을 통해 장치가 정확하고 반복 가능한 방식으로 배치되도록 합니다. 또한 NSR-204B 는 자동 피드 포워드 (focus feed-forward) 및 포커스 제어 기능을 제공하여 웨이퍼 노출 전반에 걸쳐 포커스 레벨을 정확하게 제어할 수 있습니다. NIKON NSR 204B는 또한 고급 웨이퍼 노출에 대한 처리량이 높고 반복 가능한 프로세스를 제공합니다. 고정밀 3 축 선형 트레이서 및 옵토 기계식 인코더는 정확한 웨이퍼 추적 및 정확한 필드 정렬을 제공합니다. 또한, 스테퍼는 대형 웨이퍼 크기를 병렬로 노출시키는 독특한 멀티 필드 노출 모드 (multi-field exposure mode) 와 최대 30% 의 노출 시간을 줄일 수있는 고속 스캔 메커니즘을 제공합니다. 또한 NIKON NSR-204B는 비 축 임계 치수 측정 및 결함 검사와 같은 고급 도량형 기능을 제공합니다. 자동 조정 루틴 (automatic adjustment routine) 은 장치 모양과 크기를 최적화하는 반면, 고급 광학 시스템은 정확한 패턴 배치 및 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 을 보장합니다. 자동화된 노출 최적화 시스템 (Automated Exposure Optimization System) 은 또한 실시간 모니터링 및 노출 매개변수 제어를 통해 웨이퍼가 정확하고 빠르게 노출되도록 합니다. 전반적으로, NSR 204B는 웨이퍼에 광학을 통합하기 위해 특별히 설계된 고정밀 마이크로 리토 그래피 스테퍼입니다. 첨단 기능 및 기능은 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 (wafer) 노출을 보장하며, 마이크로패브레이션을 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.