판매용 중고 NIKON NSR 204B #293628542

NIKON NSR 204B는 반도체 산업에 사용되는 NIKON Corporation에서 제조 한 웨이퍼 스테퍼입니다. 웨이퍼 크기가 3 인치, 4 인치 및 6 인치 인 4 인치 웨이퍼 스테퍼가 있습니다. NIKON NSR-204B는 에칭, 리소그래피, 검사 및 스캔과 같은 반도체 생산 프로세스를 위해 설계되었습니다. NSR 204B에는 20mm 원형 스캔 렌즈가 장착되어 있어 웨이퍼 (wafer) 의 전체 표면에 포토 esist 필름을 노출 할 수 있습니다. NSR-204B의 동적 정확도는 60 나노 미터이며 노출 시간은 1 초의 빠른 노출입니다. 이 제품은 이중 에디 (double-eddy) 전류 드라이브 장비로, 스캐닝 진동을 줄이고 빠른 스캔 속도와 움직임에 대한 높은 응답을 제공합니다. NIKON NSR 204B는 최대 2 미크론의 흐림 영역으로, 높은 반복성을 제공하도록 설계되었습니다. 패턴 노출의 높은 정확성을 보장하기 위해 평평한 표면을 특징으로하는 6 미크론 (6 micron) 의 패턴 정확도를 갖습니다. NIKON NSR-204B는 또한 고효율 반사 방지 코팅을 통해 반사율을 최소화하고 간섭으로 인한 노출 손실을 최소화합니다. NSR 204B에는 슬릿 스캐닝 노출에 대한 높은 정확성과 안정성을 제공하는 전동 슬릿 스캐닝 시스템 (Motorized Slit Scanning System) 이 장착되어 있습니다. 빈 웨이퍼 (blank wafer) 와 절삭 노출 웨이퍼 (cutting exposure wafer) 가 겹쳐 형성된 패턴 유형에 관계없이 절삭 노출 정확도는 일정하게 유지됩니다. 슬릿 스캐닝 속도는 초당 1 미크론이고 절단 노출 속도는 초당 5 미크론입니다. NSR-204B 는 NCU 2000 CNC 데이터 인터페이스 유닛으로 제어되며, 이는 노출 프로세스, 웨이퍼 동작, 속도 및 포지셔닝을 제어할 수 있습니다. 또한 스캔 렌즈 위치와 속도, 노출 매개변수 (exposure parameter) 설정, 자산 성능 등을 모니터링하면서 공구 불규칙성을 파악할 수 있는 자가 점검 머신이 있습니다. NIKON NSR 204B는 간편한 유지 관리를 위해 설계되었으며 신속하게 교체할 수 있습니다. 모든 부품은 쉽게 검사하고 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 NIKON NSR-204B 에는 예기치 않게 전원을 차단할 때 웨이퍼 노출을 방지하는 안전 기능이 있습니다. 또한 노출 정확도와 웨이퍼의 초음파 청소를위한 자동 교정 (auto-calibration) 기능이 있습니다.