판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #9239576

NIKON NSR 2005 i9C 웨이퍼 스텝퍼 (Wafer Stepper) 는 반도체 장치 개발의 정확성과 생산 효율성을 높이기 위해 고도의 자동 웨이퍼 처리 장비입니다. 두 개의 독립된 제어된 동작 축 (axes of motion) 을 사용하여 정확한 정렬 및 회전 제어를 제공하여 웨이퍼 (wafer) 표면의 복잡한 패턴을 정확하게 에칭할 수 있습니다. 또한, 스테퍼에는 프로그래밍 인터페이스가 내장되어 있어, 가장 복잡한 장치 설계에도 쉽게 설치, 작동할 수 있습니다. NIKON NSR2005I9C는 매우 효율적이고 강력한 석판 시스템을 갖추고 있습니다. 3 개의 구형 렌즈로 구성된 고급 광학은 미세한 초점 제어 및 균일 한 노출 범위를 제공합니다. 또한 샷 공유 (shot-sharing) 알고리즘을 통해 각 사진 패턴의 노출을 최적화하여 생산 수익률이 향상됩니다. 이 스테퍼는 0.3 nm 미만의 최대 정렬 해상도를 제공하여 매우 높은 정밀도 성능을 제공합니다. 특수 셔터 장치 (Special Shutter Unit) 는 전체 웨이퍼 전체에 고른 노출을 허용하여 수동 노출 보상의 복잡성을 줄입니다. NSR-2005I9C는 강력한 설계로, 반복 가능하고 정확도가 높은 처리 작업을 견뎌냅니다. 공명 스캐너 (resonant scanner) 와 소형 베이스 (compact base) 는 작동 중 미세 진동을 방지하고 열 보상이 내장되어 있어 발생할 수있는 모든 열 드리프트를 보상합니다. 또한, 스테퍼는 웨이퍼 스테이지에서 안전한 웨이퍼 로드 및 언로드를위한 안전한 처리 메커니즘을 제공합니다. 처리량이 높은 스테퍼는 시간당 최대 30 웨이퍼의 속도를 제공하며 OEE (Overall Equipment Efficiency) 는 90% 를 초과합니다. 이 제품은 잠재적인 주변 장치와의 통합을 위한 공장 자동화 (factory automation) 솔루션으로, 자동화된 유지 관리 기능을 제공합니다. 내장 석판화 프로세스 모니터는 프로세스 변화를 최대한 빨리 감지하는 데 도움이 되며, 알고리즘 기반 라이브러리 (algorithmic-based library) 는 효율적인 교정 기계를 제공합니다. NSR 2005-I9C 는 업계 최고 수준의 정확성과 생산성을 제공하는 업계 최고의 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 석판화 도구 (lithography tool) 와 열 보상 (thermal compensation) 은 고품질 및 복잡한 장치를 만들 수있는 확실한 플랫폼을 제공하여 반도체 장치 개발에 적합합니다. 또한 USB 데이터 프레임워크와 간편한 설치 인터페이스 (Settup Interface) 를 통해 빠르고 쉽게 작동할 수 있으며 OEE는 높은 수율 결과를 보장합니다.