판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #9227623
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NIKON NSR 2005 i9C는 현재 사용 가능한 반도체 장치 제작을위한 가장 진보적인 도구 중 하나 인 고성능 wafer-of-the-line wafer stepper입니다. 이 장비는 대용량, 고수율 제조를 위해 설계되었으며, 다양한 나노 기술 응용 프로그램에 대해 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 이 시스템의 설계는 최첨단 투영 정렬 장치 (State-of-Art Projection Alignment Unit) 와 고해상도 평면 이미징 머신 (Planar Imaging Machine) 으로 구성됩니다. 투영 정렬 도구는 2 개의 고정밀 렌즈, 아크 모양의 보정 프리즘 및 고정밀 선형 단계를 사용하여 광학 및 고급 공간 등록 도량형의 높은 정확도 정렬을 보장합니다. 평면 이미징 에셋 (planar imaging asset) 에는 웨이퍼를 높은 정확도와 낮은 배경 노이즈로 스캔하는 대형 평면 이미징 컴포넌트가 있습니다. 고해상도 이미징 구성 요소는 다양한 트랜지스터 구조에 대해 빠른 처리 속도를 제공합니다. NIKON NSR2005I9C는 여러 독점 스테퍼 운영 체제를 포함한 다양한 스테퍼 운영 체제를 사용합니다. 이 모든 운영 체제 (Operating System) 는 모델의 매개변수를 완벽하게 제어하여 장치 구조의 정확한 제어, 정렬 장비 (Alignment Equipment) 의 정확한 작동, 처리 시간 (Processing Time) 의 정확한 제어를 지원합니다. 시스템은 정밀도 (precision column) 구조로 구성되어 있으며, 넓은 온도 범위에서 단위의 정밀도와 정밀도를 유지하도록 설계되었습니다. 또한, 열을 정렬하여 정확하고 반복 가능한 성능을 보장할 수 있습니다. 계기는 단계 사이에 여러 온도 프로파일이 표시되므로, 정밀하고 온도 조절 가능한 작동이 가능합니다. 기계는 또한 가변 단계 (variable stage) 와 드라이브 주파수 (drive frequencies) 를 특징으로하며, 장치 요구 사항에 따라 설정할 수 있습니다. NSR-2005I9C 툴은 도량형, 데이터 분석, 성능 최적화, 이미지 제어, 동작 제어 모듈 등 고급 소프트웨어 기능을 완벽하게 보완하여 설계되었습니다. 사용자 정의 (customized) - 특정 애플리케이션에 대해 고유한 애플리케이션별 사용자 인터페이스 및 애플리케이션 특성을 생성할 수 있습니다. NIKON NSR 2005-I9C 는 강력하고 신뢰할 수 있는 웨이퍼 (wafer) 스테퍼 (stepper) 로서, 요구 사항이 많은 다양한 애플리케이션에 대해 구성이 가능하며, 소규모 디바이스에서 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 광학 (Optic) 과 소프트웨어 (Software) 시스템의 조합으로 반도체 장치 제조를위한 가장 고급 도구 중 하나입니다.
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