판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #9195895
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NIKON NSR 2005 i9C는 반도체 제작 및 익스트림 자외선 석판화 응용 프로그램에 사용되는 웨이퍼 스테퍼입니다. 뛰어난 처리량, 정확성 및 신뢰성을 제공하는 최첨단 장비입니다. 스테퍼는 스테이지, 광학 헤드 및 통합 제어 시스템으로 구성됩니다. 스테이지는 3 개의 선형 동작 (X, Y 및 Z 방향) 으로 구성되며 정확하고 정확한 동작 제어를 위해 내장 마이크로 미터가 장착되어 있습니다. 또한, 스테이지에는 웨이퍼 위치 및 로드/언로드 작업을 모니터링하는 여러 센서가 포함되어 있습니다. 광학 헤드는 고해상도 이미징 장치 및 고출력 자외선 레이저 광원으로 구성됩니다. 이미징 머신은 메인 렌즈, 이미징 렌즈, 자동 초점 도구, 스테이지 타겟팅 에셋 및 빔 정렬 장치로 구성됩니다. UV 레이저 조명원은 자외선 (UV light) 의 균일하고 강렬한 빔을 제공하여 정확한 석판 영상을 보장합니다. 통합 제어 모델은 PC 기반 컨트롤러, PC 기반 평가 장비, 스테퍼 컨트롤러 등 다양한 정교한 디지털 컨트롤러로 구성되어 있습니다. 이러한 제어 시스템은 함께 스테이지 모션, 노출, 개발, 에칭, 도금 등 리소그래픽 프로세스의 다양한 단계를 자동화 및 제어하는 데 사용됩니다. 궁극적으로 NIKON NSR2005I9C는 반도체 및 EUV 리소그래피 어플리케이션에 높은 처리량, 정확성, 장기적인 신뢰성을 제공하는, 강력하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼입니다.
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