판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #9096013

NIKON NSR 2005 i9C는 고도의 정밀 사진 분석 응용 프로그램을 위해 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 웨이퍼 스테퍼는 고급 기술을 사용하여 웨이퍼 또는 기판에 고해상도 이미지를 정확하게 생성합니다. NIKON NSR2005I9C 는 노출, 정렬, 베이크 등 단일 샷에서 여러 기능을 수행할 수 있습니다. 고속 이미징 기능과 특허를 받은 "진공 (vacuum)" 이미징 헤드를 통해 i9C는 정확하고 반복 가능한 방식으로 서브 미크론 해상도 패턴을 정확하게 생성 할 수 있습니다. i9C는 3 가지 주요 구성 요소 (이미징 헤드, 조명 장비 및 이동식 빔 전달 메커니즘) 로 구성됩니다. 이미징 헤드 (Imaging head) 에는 넓은 시야에서 정확한 서브 미크론 해상도를 제공하기 위해 미세 튜닝 가능한 렌즈 배열이 포함되어 있습니다. 조명 시스템에는 렌즈, 이색성 필터 및 기타 광학이 포함되어 있어 샘플에 균일하고 낮은 왜곡 조명을 제공합니다. 마지막으로, 빔 전달 메커니즘 (beam delivery mechanism) 은 정확한 모터 컨트롤을 사용하여 이미징 헤드를 웨이퍼의 한 영역에서 다음 영역으로 빠르게 이동합니다. 이 장치는 500mm x 10mm 면적에서 서브 미크론 해상도를 제공 할 수 있습니다. 웨이퍼 (wafer) 크기는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하도록 쉽게 변경할 수 있으며, 이미지 헤드의 크기로만 제한됩니다. 스테퍼는 다양한 저항 마스크 레벨로 작동하도록 설계되었으며 다양한 파장 (193nm ~ 248nm) 을 수용 할 수 있습니다. 또한, i9C는 선택적 증착 메커니즘으로 3 차원 구조를 패턴화 할 수있다. NSR-2005I9C 는 복잡성을 줄이고 성능을 높이는 다양한 옵션과 기능을 제공합니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 내부 이미지 처리 시스템으로 설정/조정 시간을 대폭 단축합니다. 고급 모션 컨트롤 (Motion Control) 도구는 고속 이미징 영역 탐지기와 결합하여 정확한 등록 및 반복 가능한 CD 결과를 보장합니다. Vacuum Clamp Fixture (옵션) 는 배치, 중심 조정 및 정렬을 자동화하여 처리 속도를 높이고 처리량을 향상시킵니다. NSR2005I9C는 신뢰할 수 있고 정확도가 높은 웨이퍼 스테퍼입니다. 균일성, 반복성, 처리량이 높은 서브 미크론 해상도 (sub-micron resolution) 패턴을 정확하게 생성하는 기능은 웨이퍼 생산에 이상적인 솔루션입니다. 직관적인 인터페이스 (Interface) 와 여러 가지 고급 기능을 통해 복잡한 리소그래피 작업을 더욱 단순하고, 빠르고, 정확하게 수행할 수 있습니다.