판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #9096011

NIKON NSR 2005 i9C는 인상적인 속도, 정확성 및 정밀도를 갖춘 고급 웨이퍼 스테퍼 장비입니다. 이 스테퍼 시스템 (stepper system) 은 사용자가 반도체 기판에서 정확한 광석기 이미지를 생성할 수 있도록 설계되었습니다. 시작하려면 NIKON NSR2005I9C 에는 X, Y 및 Z 축을 따라 매우 정밀한 동작을 위한 5 축 동작 제어 모듈과 회전 및 3 축 기울기가 있습니다. 이러한 이동은 최적의 정확도를 제공하며 빠르게 기판 정렬을 허용합니다. 이 장치는 또한 고속 CCD 이미지 감지 장치를 자랑하며 고해상도에서 풀 프레임 EDWS (Edge Detection and Wafer Scan) 를 제공합니다. 이를 통해 정확한 모서리 인식 (edge recognition) 및 웨이퍼 (wafer) 분석이 가능하며 전체 기판을 한 번에 스캔하여 높은 정확도를 보장합니다. NSR-2005I9C 는 다양한 특수 렌즈를 사용하여 노출 분야를 정확하게 포지셔닝합니다. 또한 고해상도 동작 제어기를 사용하여 X, Y 및 Z 축에서 초정밀 동작을 달성하여 정확한 위치 제어를 지원합니다. 이 스테퍼 도구에는 정확한 셔터 제어를 위해 CMS (Chuck Shutter Mechanism) 가 장착되어 있으며, 경원으로부터 부정확한 거리를 가져올 수있는 기울기 변형을 제거합니다. NIKON NSR 2005I9C는 또한 매우 정밀한 노출 확대 제어를 위한 ALS (Active Layer Stabilization) 및 LBLF (Layer-by-Layer Fixing) 와 같은 고급 안정화 기술을 통해 정확한 레이어 경계 위치를 지정할 수 있습니다. 이 자산은 또한 AMRC (AMRC) 기술을 사용하여 수동 정렬의 필요성을 제거하여 정확한 photolithographic 이미지를 만드는 프로세스를 크게 단순화합니다. NSR 2005 i9C 는 또한 멀티 포인트 로딩 (Multi-Point Loading) 모델을 통해 여러 웨이퍼를 한 번에 로드하여 처리량을 높이고 대기 시간을 단축할 수 있습니다. 또한 자동 빔 셔터, 저압/저온 노출 (LLTE) 및 난방 스테이지 도어 (HSD) 와 같은 옵션을 제공하여 추가 유연성과 성능을 제공합니다. 전반적으로, NSR2005I9C 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 장비는 매우 정확하고, 정확하며, 빠른 광석기 이미지를 제공 할 수있는 인상적인 장치입니다. 5축 동작 제어 모듈과 고해상도 동작 제어 시스템은 매우 정확한 노출 확대, 레이어 포지셔닝, 셔터 제어를 보장하고 AMRC 기술, 멀티 포인트 로딩 장치 (Multi-Point Loading unit) 및 추가 옵션을 통해 유연성을 높이고 처리량을 향상시킵니다.