판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #9096010

NIKON NSR 2005 i9C는 다양한 고급 포토 마스크 패턴 응용 프로그램을 위해 설계된 고속, 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 다양한 시스템 구성을 제공하는 반자동 장비입니다. 웨이퍼 스테퍼는 작업 정밀도 및 속도 측면에서 다른 장비에 비해 몇 가지 장점이 있습니다. NIKON NSR2005I9C의 기능 세트에는 최대 22.0 "의 지원 용량을 가진 OPS (Optical Pre-Alignment Unit) 와 빠른 정착 시간과 5 미크론의 최소 증분 지터를 가진 x/y/theta 스테이지 공기가 포함되어 있습니다. 이 높은 정확도는 정밀 광학과 첨단 메카트로닉스의 조합 덕분에 달성 될 수 있습니다. NSR-2005I9C 의 전체 성능은 고급형 이미징 머신 (Advanced Imaging Machine) 에 의해 향상되어, 노출 균일성과 현장 크기를 극대화합니다. 빠르고 정확도가 높은 다중 노출 모드 (Multiple Exposure Mode) 를 통해 공구 처리량을 크게 향상시킬 수 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼에는 순차적, 동시, 혼합 노출 및 에칭이 가능한 완전히 통합 된 소프트웨어 자산이 있습니다. 이 모델에는 "손상과 고장 '으로부터 환경과 장비를 보호하는 안전시스템 (안전 시스템) 도 탑재돼 있다. 안전 시스템의 배열에는 가스 정화, 먼지 방지, 공기 필터 및 고압 차동 스크러버가 포함됩니다. NSR 2005I9C는 우수한 진공 기능으로 인해 초고속 진공 응용 프로그램에도 사용할 수 있습니다. 초저가스 (ultra-low outsassing) 프로파일을 갖춘 UHV (Ultra-High Vacuum) 장비의 적용을 통해 초고진공 정권이 향상되었습니다. Wafer Stepper 는 호스트/원격 시스템에 접속하여 유연성과 작업 편의성을 높일 수 있습니다. 통합 원격 운영 소프트웨어는 브라우저 인터페이스를 통해 시스템을 완벽하게 제어할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼는 웨이 빌 (waybills), 데이터베이스 (database) 와 같은 다른 프로덕션 도구와도 통합 될 수 있습니다. 결론적으로, NSR2005I9C 는 photomask patterning 애플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 고급 다기능 장치입니다. 고정밀 광학 및 메카트로닉스 (mechatronics), 고급 이미징 머신, 다양한 안전 시스템, 뛰어난 공구 성능을 제공하는 초고진공 기능이 장착되어 있습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 를 호스트 또는 원격 시스템에 연결하여 여분의 유연성과 작업 용이성을 확보할 수 있습니다.