판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #9059235

NIKON NSR 2005 i9C는 마이크로 일렉트로닉스 산업의 고급 반도체 장치 제조에 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 머신은 표준 이미징 응용 프로그램과 고급 이미징 응용 프로그램 모두에서 뛰어난 이미징 성능을 제공합니다. 모든 이미징 모드에서 최대 0.40äm의 해상도를 제공하여, 0.25äm의 작은 크기로 임계 회로 패턴을 인쇄할 수 있습니다. 고급형 반도체 개발 및 제조에서 가장 진보된 노드에 적합합니다 (영문). 다양한 노출 기능을 갖추고 있어 양성 (positive) 및 음수 (negative) 프로세스에서 고품질 이미지를 생성할 수 있습니다. 기계의 목표 노출 범위는 0.6-5.6äm이며, 여러 노출 패스에서 최대 범위는 0.5-5.5äm입니다. 또한 ALGIS (Auto-Level Gain Image Shifting) 시스템이 장착되어 있으며, 다양한 노출 패스에서 디포커스 및 이미지 크기 변화의 영향을 줄입니다. 이 기계는 다른 웨이퍼 스테퍼와 비교할 때 CD (critical dimension) 측정치의 최대 정확도와 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다. 300mm x 400mm 의 대형 액티브 (Active Field) 를 통해 대용량 패턴을 생성하여 탁월한 처리량과 비용 효율성을 제공합니다. 단계와 반복 속도는 단계당 6 초로, 시간당 총 300 개의 이미지입니다. 따라서 대용량 운영 운영에 이상적입니다. 모듈식 설계는 간단하고 빠른 유지 관리 및 수리 옵션을 제공합니다. 또한 신규 또는 기존 고객 시스템에 간편하게 통합할 수 있습니다. NIKON NSR2005I9C 는 Fab 장비와 시스템을 통합하여 수작업 (manual operation) 을 방지하는 고급 자동화 기술을 추가로 갖추고 있습니다. 또한 자동 초점 (auto-focus) 및 자동 정렬 (auto-alignment) 기능을 통해 품질을 유지하면서 생산 시간을 단축할 수 있습니다. 소음 감소 (Noise reduction) 기술은 NSR-2005I9C 에 사용되어 부품 이동으로 발생하는 진동량을 줄여 이미징 성능과 정밀도를 향상시킵니다. 또한 이중 조명이 장착되어 있으며, 정확한 노출을 위해 펄스 광원을 사용합니다. NSR2005I9C 는 고급 반도체 제조 (Advanced Semiconductor Manufacturing) 를 위한 완벽한 선택이며, 오늘날 가장 고급 노드의 요구에 부합합니다. 고급 사전 정렬 (pre-alignment) 기능과 자동 조정 (automatic calibration) 기능을 통해 프로세스 정확도가 높고 정확성이 높으며 설치, 설정, 유지 관리가 빨라집니다.