판매용 중고 NIKON NSR 2005 i9C #293601909
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ID: 293601909
Stepper
Resolution: ≤0.5 µm
UDOF: ≥0.7 µm
CD Uniformity: ≤50 nm
Focus calibration repeatablity: 3σ, ≤0.1 µm
Lens distortion: Within ±70 nm
Maximum area: 20x20 mm
Recticle blind setting accuracy: 0.4 to 0.8 mm
Exposure power: ≥550 mW/cm²
Integrated exposure control: Within ±1%
Illumination uniformity: Within 3%
Recticle rotation: Within 20 nm
Array orthogonality: Within ±0.1 sec
Stepping precision: 3σ, ≤70 nm
Operation test success rate: 100%
Wafer system success rate: 100%
Focus stability: ≤0.6 µm
Magnification error: Within 15nm
Field curvature: ≤0.3 µm
Chip levelling accuracy: Within ±1.5 sec.
NIKON NSR 2005 i9C 웨이퍼 스테퍼는 집적 회로 구성 (integrated circuit fabrication) 에서 인쇄, 이미징 및 검사에 이르기까지 다양한 응용 프로그램에서 사용되는 고정밀 장치입니다. 9 축의 모션을 갖춘 i9C는 장기적인 안정적인 성능을 갖춘 탁월한 유연성을 제공합니다. 열 왜곡을 최소화하도록 설계되었으며 내장 진동 격리를 제공합니다. NIKON NSR2005I9C는 고해상도 0.8NA 콘덴서 렌즈와 수치 조리개가 0.8 인 고성능 목표를 갖춘 인상적인 광학 장비를 제공합니다. 이 강력한 조합을 통해 패턴, 오버레이, 웨이퍼 스테퍼 검사를 포함한 다양한 이미징 응용 프로그램이 가능합니다. i9C는 다양한 고품질 레티클을 지원하며, 양극화, 초점, 정렬 교정을 통해 최고의 정확성을 보장합니다. 뛰어난 성능과 견고한 디자인 덕분에 NSR-2005I9C 웨이퍼 스테퍼가 두드러집니다. 고급 4 축 시스템과 4 레벨 확대 (확대) 가 장착되어 있어 매우 정확한 작업에 적합합니다. 이 장치는 빠른 스캔 속도와 최대 노출 시간 (1.5 초) 을 제공합니다. 또한 자동 레티클 교환, 듀얼 이미지 필드 스티칭 및 최대 5.5 마이크로 미터의 넓은 스캔 범위를 제공합니다. NSR 2005 I 9 C 웨이퍼 스테퍼는 운영 효율성을 높이고 결함을 줄이기 위해 설계되었습니다. 직관적인 컨트롤러와 고급 모니터링 기능을 통해 고품질의 제조 결과를 얻을 수 있습니다. 이 기계는 다양한 프로세스 가스와 호환되며 Industry 4.0 자동화를 지원합니다. 마지막으로 NSR 2005 i9C 는 유지 관리가 용이하며 설치 공간이 적습니다. 다양한 안전 요구 사항을 준수하며 원격 운영을 지원합니다. 이러한 모든 기능을 통해 i9C는 고급 리소그래피 애플리케이션에 이상적인 장치입니다.
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