판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #9351643

NIKON NSR 2005 i8A는 고급 석판 공정을 위해 설계된 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 기계는 고밀도 집적회로 및 기타 고급 전자 애플리케이션 개발을 허용합니다. 이 제품은 웨이퍼 검사, 포토 마스크 및 웨이퍼 스테이지의 정확한 배치 및 정렬, 향상된 해상도 및 명암을 위한 개선된 빔 프로파일 (beam profile) 을 위한 고급 이미지 측정 장비를 갖추고 있습니다. 광학 시스템은 고정밀, 고성능 U 자형 catadioptric 광 장치로 구성됩니다. 이 머신은 광시야각 (field-of-view) 에 걸친 넓은 심도 및 뛰어난 해상도와 대비를 제공합니다. 배율 범위는 5x-90x이며 최대 숫자 조리개 (NA) 는 0.50입니다. 시야는 305mm이며, 다이 피치는 -148jm이고 다이 틸트는 -75zrad입니다. 기계의 스캔 성능은 2 축 디지털 서보 제어 도구로 더욱 최적화되었습니다. 컨트롤러는 전체 stepper 작업에서 스캔, die 등록 및 die 정렬을 관리합니다. 에셋은 0.05 m/픽셀의 해상도를 가진 요소의 배치 및 스캔을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 기계에는 고급 Soft Scan 오버레이 모델도 장착되어 있습니다. 이 장비는 복잡한 litho-etch 프로세스를 수행 할 때 정확한 오버레이 정렬을 허용합니다. 시스템은 완벽한 오버레이 정확도를 보장하기 위해 기판의 하나 이상의 레이어에 1 개의 레이어 마스크 (layer mask) 를 등록할 수 있습니다. NIKON NSR 2005I8A는 24x7 무중단 운영 및 가용성을 보장하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 매우 높은 정밀 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 가 장착되어 있어 움직임 및 이미지 안정성이 정확합니다. 온도 조절 머신 (temperature control machine) 은 도구 전체에서 일관된 온도를 유지하여 0.1m 이내로 반복 가능한 결과와 균일 한 이미지 품질을 생성합니다. 이 기계는 또한 통합 웨이퍼 전송 에셋 (wafer transport asset) 을 갖추고 있어 웨이퍼 배치 로드 및 언로드를 용이하게합니다. 이렇게 하여 기계 는 효율적 이고 자동화 된 "모델 '이 되어 빠르고 정확 한 제작 공정 을 이룰 수 있게 되었다. 조종 장비 (Control Equipment) 의 긴밀한 통합 덕분에 운영자는 작업을 주시하고 필요한 경우 수정할 수 있습니다. 요약하자면, NSR-2005I8A 는 일관된 리소그래피 성능을 유지하면서 정확성과 정확성을 제공하는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 복잡한 제작 프로세스를 수용하는 동시에 정확하고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다.