판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #9275351
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NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper는 뛰어난 기능과 신뢰성을 갖춘 통합 석판화 장비입니다. 최대 8 인치 직경의 웨이퍼를 처리하기 위해 스텝 앤 스캔 리소그래피 (step-and-scan lithography) 를 지원하는 고정밀 대규모 시스템입니다. 고품질 이미징을 생성하며 저전압 및 나노 스케일 장치의 고급 패턴화에 이상적입니다. NIKON NSR 2005I8A는 리소그래피에 2 개의 렌즈 장치를 사용합니다. 이중 스테이지 감소 오브젝티브 렌즈는 직경이 큰 필드가있는 웨이퍼 이미징에 사용되고, 직경이 작은 필드에서는 고화질 줌 렌즈 (High-Definition Zoom Lens) 를 사용할 수 있습니다. 대물렌즈는 0.9의 높은 수치 조리개와 넓은 시야를 제공합니다. 줌 렌즈 (Zoom Lens) 는 매우 큰 시야를 제공하여 넓은 분야를 안정적으로 정렬합니다. 줌 (Zoom) 렌즈에는 다양한 파장에서 뛰어난 이미징을위한 고해상도 디지털 카메라와 자동 초점 기능이 장착되어 있습니다. NSR-2005I8A는 동급 최고의 속도와 정확성을 제공합니다. 0.5 음 (um) 의 훌륭한 기계적 해상도를 달성하며, 고급 축 디지털화 기능 덕분에 대규모 오버레이 (overlay) 및 등록 (registration) 작업을 손쉽게 처리할 수 있습니다. NSR 2005 I 8 A는 작동 중 입자 운동을 최소화하기 위해 빠르고 짧은 대기 시간 스캔 제어 시스템을 제공합니다. 전달 도구 (Delivery Tool) 는 높은 정밀도 반복성과 낮은 진동을 제공하여 측정 정확도와 뛰어난 오버레이를 가능하게 합니다. NSR 2005I8A Wafer Stepper는 다양한 고급 이미징 기술을 사용할 수 있습니다. 고해상도 현미경 영상, 저전압 포토 마스크 검사, 나노 스케일 리소그래피, 사진 리소그래피 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 또한 고급 최적화 루틴 (Optimization Routine) 과 다용도 마스크 데이터 관리 도구 (Masks Data Management Tools) 등 프로세스 기능을 한층 강화할 수 있는 몇 가지 소프트웨어 기능이 있습니다. 이미지 처리 기능 외에도 NIKON NSR 2005 I 8 A에는 다양한 안전 및 보호 기능이 있습니다. 전체 시야, 외부 진공 연결 포트, 비상 정지 스위치, 폐쇄 루프 온도 제어, 냉각팬 등으로 확장되는 반사 방지 (Anti-reflection) 에셋이 있습니다. 이러한 기능을 통해 NIKON NSR-2005 I8A는 시장에서 가장 신뢰할 수있는 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다.
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