판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #9250072

NIKON NSR 2005 i8A 웨이퍼 스테퍼는 반도체 제조의 고급 석판 공정에 필요한 주요 장비입니다. 얇은 기판에서 매우 작은 기능을 생성 할 수있는 매우 정확한 기계입니다. NIKON NSR 2005I8A는 메인프레임, 정렬 단계, 프로젝션 광학 장비 및 노출 소스로 구성됩니다. 메인 프레임은 진공 조임 챔버, 사료 및 준비 암, 전동 포지셔닝 단계로 구성됩니다. 진공 단단한 챔버 (vacuum tight chamber) 는 노출 과정의 정확성 및 장치 수익률에 영향을 줄 수있는 공중 오염에 노출되지 않도록 단계를 보호합니다. 챔버 내부에는 노출 소스 (Exposure Source) 가 있으며, 오존 또는 깊은 자외선 중 하나의 조명 소스로 구성됩니다. 노출 소스의 선택은 사용 된 노출 마스크 유형에 따라 다릅니다. 예를 들어, 석영으로 만든 노출 마스크를 사용할 때 깊은 자외선이 사용됩니다. NSR-2005I8A (Projection Optics System of NSR-2005I8A) 는 일련의 렌즈와 미러로 구성되어 있어 원하는 장치 계층에 필요한 확대/초점 매개 변수를 제공합니다. Optics는 최고 해상도 수준 (해상도 수준) 과 달성 가능한 크기 (기능 크기) 를 제공하도록 최적화되었습니다. NSR-2005 I8A의 Aligner Stages는 정밀 인코더 및 서보 모터를 사용하여 X, Y 및 | 평면의 단계를 지시합니다. 이러한 단계 수정은 다이-투-다이 배치 정확도와 중요한 기능을 정렬하는 데 필수적입니다. NSR 2005I8A 는 최고 수준의 반복성 (repeatability) 과 정확성을 제공하여 디바이스 생산량 및 디바이스 허용 (tolerance) 을 향상시키도록 설계되었습니다. 고해상도 이미징 (high-resolution imaging), 효율적인 처리량, 민감한 노출 프로세스를 위한 안정적인 환경을 유지하기 위한 고급 프로세스 제어 장치 (advanced process control unit) 등의 기능을 제공합니다. 자동 시력 정렬 장치 (Automated Vision Alignment Machine) 를 사용하여 스텝퍼가 잘못된 정렬을 감지하고 수정 할 수 있으며, 기판 균일성을 모니터링하여 최고 품질의 부품을 매번 생산할 수 있습니다. 전반적으로 NSR 2005 I 8 A 웨이퍼 스테퍼는 반도체 산업에 고속, 정확성 및 반복 성을 제공하는 귀중한 고급 석판화 장비입니다. 이 고급 도구 (Advanced Tool) 는 매우 얇고 섬세한 기판에서 가장 정교한 패턴을 만들 수 있으며, 기존의 방법으로 생산할 수 없습니다.