판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #9226275

NIKON NSR 2005 i8A
ID: 9226275
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1992
Stepper, 6" 1992 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper는 단계 및 반복 정렬 장비를 통합 한 고급 석판화 기계입니다. 이 시스템은 이미징 및/또는 처리를 위해 표본을 정확하게 배치 할 수 있습니다. 이 기계의 기능은 photomask 및 reticle 이미징, 단일 마스크 오버레이를위한 마스크 정렬기, MEMS 및 MOEMS 처리에 대한 정렬 등 다양한 응용 프로그램에 이상적입니다. NIKON NSR 2005I8A 는 정확한 샘플 포지셔닝 및 photomask 이미징 기능을 통해, 가장 정확한 응용 프로그램도 손쉽게 사용할 수 있습니다. NSR-2005I8A 는 사용자에게 친숙한 콘솔을 갖춘 완전 자동화된 스테퍼 스캐너 (stepper-scanner) 로, 사용자가 쉽게 장치를 설치하고 관리할 수 있습니다. 이 기계에는 2 개의 자동 이동 가능 스테이지 오리엔터, 분산 석판화 모듈 및 정확한 측정 장치가 제공됩니다. 고급 Optics 도구는 뛰어난 해상도를 제공하며, 이미지 필드는 최대 300mm까지, 작동 거리는 7nm ~ 5mm입니다. 이 자산은 또한 펄스 (pulsed) 및 연속 (continuous) 노출뿐만 아니라 단기 및 장기 노출을 수용 할 수 있습니다. NSR 2005 i8A는 8 인치 (vision-controlled) 스캐닝 플랫폼을 사용하여 포토 마스크 및 레티클의 손쉬운 정렬 및 방향, 모든 표본 유형 및 웨이퍼의 위치 지정 및 정렬을 가능하게 하며, 정밀도가 높은 이미지 획득이 가능합니다. 이 플랫폼에는 광 간섭법, 긴 초점 깊이 및 서브 미크론 레벨 변환에 대한 교정 정확도도 포함됩니다. 이것은 모델의 자동 오버레이 정렬 기능과 결합하여 MEMS 및 MOEMS 처리에 이상적입니다. NIKON NSR 2005 I 8 A에는 구성 호환 제어가 장착되어 있어, 사용자는 운영 프로세스를 중단하지 않고 매개변수를 변경할 수 있습니다. 이 기능은 신속한 프로세스 최적화, 시간 및 비용 절감을 위해 특히 유용합니다. 이 기계는 또한 다중 노출 기능 및 자동 렌즈 체인저 (automatic lens changer) 를 갖추고 있으며, 균일 한 노출을 보장하면서 optic 사이를 빠르고 쉽게 전환 할 수 있습니다. 결론적으로 NIKON NSR-2005 I8A Wafer Stepper는 단계 및 반복 정렬 장비를 통합 한 고급 석판화 기계입니다. 사용자 친화적 인 설계 및 제작 호환 제어와 결합하여 탁월한 해상도, 광 간섭법 및 교정 정확도를 제공하며, photomask 및 reticle 이미징, 단일 마스크 오버레이를위한 마스크 정렬기, MEMS/MOEMS 처리에 이상적입니다.
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