판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #9202299

NIKON NSR 2005 i8A
ID: 9202299
Stepper.
NIKON NSR 2005 i8A는 반도체 및 nanofabrication 작업에 사용되는 고급적이고 정밀한 스테퍼입니다. 최신 NIKON MCP (Motion Control Platform) 를 기반으로 하며 뛰어난 성능, 속도 및 정확성을 제공합니다. 완전 자동화 시스템은 처리량 및 해상도가 향상된 광학 (optical) 및 사진 (photolithography) 프로세스를 지원합니다. 이 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 에는 보호 쿼츠 진공 챔버 및 고속 이미지 필드 스캔을 제어하는 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 8 인치 웨이퍼와 3.5 인치 레티클을 처리 할 수 있습니다. 경량 조사 (light irradiation) 를 사용하여 패턴을 정확하고 빠르게 웨이퍼로 옮기는 효율적인 도구입니다. 이 웨이퍼 스테퍼는 두 가지 유형의 렌즈 시스템, 즉 무한대 보정 광학과 웨이퍼 코팅 광학을 사용합니다. 두 번째 "렌즈 '는" 패턴' 처리 과정 에서 "시스템 '을 더 효율적 이 되게 하여 효율성 이 훨씬 높은 층 간 의" 패턴' 을 만들 수 있게 한다. 최소 총 노출 량은 +/- 0.5% 로 이미지 왜곡이 줄어든 서브 미크론 기능의 변동 없는 패턴을 정확하게 달성 할 수 있습니다. i8A는 나노 미터 수준까지 높은 수준의 정확도를 달성 할 수 있습니다. 반복 정확도는 ± 0.001mm이고 노출 정확도는 ± 0.02mm입니다. 이 스테퍼는 또한 16 개의 노출 단계를 통해 빠른 노출 기능을 가지고 있으며, 노출 시간을 줄이고, 노출 정확도를 향상시킵니다. 고급 자동화 (Advanced Automation) 덕분에 빠른 웨이퍼 전송 속도와 시간당 8개의 웨이퍼 (Wafer) 를 제공하여 최대 수율과 처리량을 제공합니다. 고급 소프트웨어는 또한 운영자 부하를 줄이고, 제품의 품질을 높이고, 비용을 절감합니다. 니콘 NSR 2005I8A (NIKON NSR 2005I8A) 의 정교한 설계 및 속성은 최고 품질의 제품을 생산하기 위해 정확한 스테퍼 기술을 원하는 사용자에게 이상적인 선택입니다. 뛰어난 정확도, 속도, 생산성을 모두 하나의 비용 효율적인 솔루션으로 결합하여, 칩 (chip) 생산을 선호합니다.
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