판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #9159993

NIKON NSR 2005 i8A는 2005 년 NIKON Precision Inc.에서 개발 한 하위 아이콘 슬릿 형 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼는 회사의 독점 필드 렌즈 (field lens immersible) 기술을 기반으로하며, 소형화 된 반도체 및 나노 분류 프로세스 (nanofabrication process) 를 포함한 광범위한 응용 프로그램을 지원하도록 최적화되었습니다. NIKON NSR 2005I8A에는 이미지 또는 패턴을 확대하고 수차를 줄이기 위해 함께 작동하는 2 세트의 렌즈가 장착되어 있습니다. 첫 번째 세트는 빔 분할 (beam-splitting) 이 아닌 필드 렌즈로 구성되며 이미징을위한 평평한 파면을 제공하도록 설계되었습니다. 이러한 렌즈는 또한 내부 필드 곡률을 최소화하여 균일 하고 고해상도 이미징을 가능하게합니다. 제 2 세트는 노출 단계에서 필드 렌즈의 빛을 올바르게 초점을 맞추기 위해 반사 거울을 사용하는 2 차 렌즈 (secondary lenses) 로 구성됩니다. 또한 스테퍼에는 VCM (Variable Center of Mass) 시스템이 장착되어 있어 노출 에너지와 초점 위치를 빠르고 정확하게 조정할 수 있으며, 서브미크론 기능을 정확하게 노출 할 수 있습니다. 또한, NSR-2005I8A 는 광 (light) 패턴을 정확하게 조절하여 높은 균일성과 노출 에너지의 반복성을 보장하는 내장 노출 제어 시스템을 갖추고 있습니다. NSR 2005I8A는 또한 독특한 스테이지 디자인을 갖추고 있습니다. 스테퍼 (Stepper) 는 이중 단계 구성을 사용하여 웨이퍼 평면 내에서 빠르고 정확한 위치를 지정할 수 있습니다. 이렇게 하면 노출 주기 내에서 처리량이 빨라지고 정확도가 높아집니다. 또한, 스테퍼에는 신뢰할 수있는 웨이퍼 클램핑 용 진공 척 (vacuum chucks) 과 균일 한 웨이퍼 온도를위한 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 전반적으로, NSR 2005 i8A 는 안정적이고 고성능 웨이퍼 스테퍼로서, 반도체 및 nanofabrication 프로세스에서 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 스테퍼의 듀얼 스테이지 디자인, 필드 렌즈 몰입 가능한 기술 및 노출 제어 시스템 (Exposure Control System) 은 서브 아이콘 기능을 정확하고 균일 하게 노출 할 수 있습니다.