판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8A #293689926
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ID: 293689926
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1991
Stepper, 6"
Wafer stage: Ball screw style
(2) Wafer loader indexers
Wafer loader type: KEYENCE and OMRON sensors for clear wafers
Wafer loader pre-alignment 2
Wafer type: Flat
Illuminator type: 1500 W
Reticle libraries
Reticle load / Unload arms: Open / Close (20 mm)
Ceramic ring chuck with pre-alignment
Focus calibrate
TTL Reticle alignment
Resolution: 0.5 micron
Computer type: PDP11
Reticle size: 5"
Barcode reader
Autofocus: Single point
Movable microscopes: 15/17.5/20 mm
LLTC: Standard air
LIA
FIA
LSA
Chip levelling
ISS
SEC2
No PPD
1991 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A는 매우 정확하고 신뢰할 수있는 풀 필드 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장비는 뛰어난 패턴 인식 결과 (pattern recognition result) 와 낮은 전체 처리량 (throughput time) 을 통해 높은 수준의 정밀 기판을 생산할 수 있는 고급 플랫폼을 제공합니다. NIKON NSR 2005I8A의 해상도는 32 단계 수직 시야를 활용하여 고도의 0.4 "m 해상도, 스캔 기반 조명 시스템을 중심으로합니다. 스테퍼는 또한 다방향 패턴 인식 (Multi-Directional Pattern Recognition) 장치를 특징으로하여 모든 모양의 기판을 신속하게 감지하고 배치 할 수 있습니다. NSR-2005I8A에는 3 개의 회전 축, 2 개의 X-Y 변환 축 및 Z축을 포함한 완전한 5 축 기능이 장착되어 있습니다. 이 설정을 사용하면 스테퍼 컴포넌트와 기판을 가장 정확하게 배치하고 정렬할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR-2005I8A는 고정밀 광학 플랫폼, 직접 드라이브 모터 머신 및 고해상도 FEM 기반 정렬 알고리즘을 사용합니다. 이 고급 도구를 사용하면 패턴 인식 (pattern recognition) 결과와 빠른 처리 시간 (throughput time) 을 통해 복잡한 기판을 효율적으로 처리할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR-2005 I8A 에는 다양한 기능이 장착되어 있어 사용자 제어를 강화할 수 있습니다. 이러한 기능에는 다중도구 (multi-tool) 기능이 포함되어 있어 운영자가 즉석에서 서로 다른 optic 사이를 빠르게 전환할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR 2005 I 8 A에는 Defocus Offset Asset이라는 고유 한 기하학적 기능이 포함되어 있으며, 이는 defocus 오류로 인한 광학 이미징 문제를 줄이기 위해 고안되었습니다. 마지막으로 NSR 2005I8A 에는 포괄적인 통합 툴 모델도 포함되어 있습니다. 이 장비 는 "스테퍼 '를 여러 가지 다른 구성 요소 와" 프로그램' 에 쉽게 연결 시킬 수 있다. 이러한 통합 도구는 스테퍼에 단일 창 (window) 을 제공하여 운영자가 다양한 소프트웨어/하드웨어 엔지니어링 애플리케이션을 활용할 수 있도록 합니다. 결론적으로 NSR-2005 I8A는 고급 기능의 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 시스템에는 0.4 jm 해상도의 스캔 기반 조명 장치, 로터리 5 축 디자인, 정교한 통합 광학 및 모터 시스템, 강력한 통합 도구 모음이 장착되어 있습니다. 이러한 기능을 함께 사용하면 처리 시간 (throughput time) 이 빨라지고, 정밀도와 정확도가 가장 높은 모든 모양 기판을 정확하게 배치할 수 있습니다.
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