판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8 #9016036

NIKON NSR 2005 i8은 저용량 파일럿 운영 및 웨이퍼 범핑 애플리케이션을 위해 설계된 고성능 웨이퍼 스테퍼입니다. 고해상도 12 인치 웨이퍼 스테이지와 정확하고 반복 가능한 웨이퍼 (wafer) 정렬 및 범프 배치를위한 견고한 프레임이 장착되어 있습니다. i8은 8 인치 스테퍼 열과 2 단계 회전 기능을 갖추고 있으며, 넓은 범위의 정렬과 최대 투사 확대는 최대 750배입니다. 스텝퍼에는 최적의 패턴화 안정성을 위해 웨이퍼 (wafer) 관측과 조명을 정확하게 제어하는 고급 조명 시스템이 장착되어 있습니다. 0.3 미크론 주파수의 고급 0.75 미크론 해상도는 최소 선 너비의 균일 하고, 선명하고, 잘 정의 된 패턴에 대한 뛰어난 명암과 정의를 제공합니다. 또한 도량형 및 검사 응용 프로그램에 사용하기 위해 저대비 위상 시프터를 감지 할 수 있습니다. i8 에는 처리 시간을 최소화하고 리소그래피 작업 (lithography job) 범용성을 향상시키기 위해 여러 노출 모드가 추가로 장착되어 있습니다. pro-flux 기술은 패턴 크기, 노출 조건, 웨이퍼 로딩 상태 및 추가 표기법에 따라 스테퍼 매개 변수를 동적으로 조정합니다. 이렇게 하면 연산자가 더 큰 피쳐 크기에서 작은 피쳐 크기로 전환할 때 빠르게 매개변수를 조정할 수 있습니다. 고급 웨이퍼 로딩 시스템은 향상된 웨이퍼 처리를 보장합니다. 시스템은 고유한 로더 인터페이스 (Loader Interface) 설계를 사용하여 연산자가 위층에서 아래층으로 빠르게 웨이퍼를 이동하여 프로세스 속도를 높일 수 있습니다. 또한 통합 웨이퍼 플렉스 필름 처리 기능도 있습니다. NSR 2005 i8 은 저용량 운영 및 wafer bumping 프로세스의 요구 사항을 충족하도록 설계된 비용 효율적인 고성능 wafer stepper 입니다. 다양한 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 애플리케이션에 가장 높은 해상도와 정확도를 제공하도록 설계되었으며 주거용 반도체 제작 프로세스에 적합합니다.