판매용 중고 NIKON NSR 2005 i8 #190066

NIKON NSR 2005 i8은 최첨단 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 장비로, 다양한 기판의 정확한 패턴화를 위한 자동화와 고정밀 옵틱을 통합합니다. NSR 2005 i8 은 빠른 레티클, 현장 스캔, 높은 정렬 정확성, 높은 생산성, 낮은 소유 비용 등 운영 작업 환경을 위한 고급 기능을 제공합니다. 이 스테퍼는 도량형 응용을위한 고급 측정 및 검사 장비와 함께 사용하도록 최적화되었습니다. NIKON NSR 2005 i8은 NIKON 특허를 받은 Pulse Drive 기술을 기반으로 시간당 최대 200개의 와퍼를 처리할 수 있는 높은 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 펄스 드라이브 (Pulse Drive) 기술은 반음계 수차를 줄이고 최대 25nm 해상도로 빠른 스캔 속도를 제공합니다. NSR 2005 i8에는 리토 그래피 균일성을 개선하고 설정 시간을 줄이는 데 도움이되는 반음계 계수 비구형 렌즈가 포함되어 있습니다. 시스템이 완전히 확장이 가능하므로 다양한 운영 (production) 설정에서 사용할 수 있습니다. NIKON NSR 2005 i8은 선 너비를 포함하여 0.3 미크론까지 매우 복잡한 패턴을 처리 할 수 있습니다. 또한 이 장치에는 여러 노출 영역을 일괄 처리 (batch loaded) 하고 한 순서로 처리할 수 있는 고유한 스테이징 머신이 통합되어 있습니다. NSR 2005 i8 은 완전하게 자동화된 웨이퍼 처리 기술을 활용하여 최고의 툴 성능과 정확성을 보장합니다. NIKON NSR 2005 i8 은 다양한 도량형/결함 감지 툴과 통합되어 있어 대용량 운영 애플리케이션에 적합합니다. 자산에는 고급 보고 (Advanced Reporting) 및 로깅 (Logging) 기능이 포함되어 있어 패턴 노출 오류를 추적하고 트렌드를 식별할 수 있습니다. 또한 NSR 2005 i8 은 기판 기울기 (substrate tilt) 를 줄이고 처리량을 향상시키는 기판 정렬 모니터와 통합됩니다. NIKON NSR 2005 i8은 과열 보호, 무오염 환경, 통합 안전 모델 등의 기능을 통해 강력하고 안정적으로 설계되었습니다. NSR 2005 i8 은 다용도 장비로, 반도체 생산에서 인쇄 회로 기판 제조에 이르기까지 다양한 응용프로그램을 처리할 수 있습니다. NIKON NSR 2005 i8 은 다양한 액세서리 및 소프트웨어 구성 요소와 완벽하게 호환되며, 완벽하게 통합되고 안정적인 리토그래피 (lithography) 솔루션을 제공합니다.