판매용 중고 NIKON NSR 2005 i7 #9269107
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NIKON NSR 2005 i7은 포토 마스크 제조에 사용되는 고급 리소그래피 도구 인 웨이퍼 스테퍼입니다. 반도체, 평면 패널 디스플레이 및 기타 마이크로 전자 기계 장치의 생산에 사용됩니다. NSR 2005 i7 은 널리 사용되는 NSR-2004 의 대폭 업그레이드 버전으로, 더 큰 스테퍼 설치 공간, 더 빠른 작업, 향상된 이미지 품질을 제공합니다. NIKON NSR 2005 i7은 고급 광학을 가지고 있으며 필드 곡률 보상을 증가시킵니다. 즉, 이미지가 초점을 맞추고, 노출 정밀도가 전체 웨이퍼 (wafer) 의 모든 영역에 일치하도록 합니다. "옵틱 '은 모두 동봉 되어 있어서, 생산 실수 의 가능성 을 줄이기 위하여 장비 의 안정성 을 증가 시킨다. NSR 2005 i7은 높음과 낮음의 두 가지 노출 수준을 가지고 있습니다. 이를 통해 정확도와 유연성이 높아집니다. 고화질 (High-Equipment) 설정은 더 높은 해상도와 더 낮은 오차 한계를 제공하는 반면, 저강도 (Low-intensity) 설정은 더 빠른 노출 시간을 허용합니다. NIKON NSR 2005 i7은 용량을 높이고 동작 정확도를 높였습니다. 웨이퍼 스테퍼의 면적이 증가하면 생산 수익률이 높아지고 생산 중단 시간이 줄어듭니다. "스테핑 모터 '의 속도 가 빨라지면 노출 시간 이 줄어들어 리소그래피' 기계 의 생산률 이 더욱 높아진다. 포토 마스크 리소그래피를 위해 설계되었지만 NSR 2005 i7은 라인 그리드 포토 마스크 및 Crystal Growth Plates에도 사용할 수 있습니다. 또한 NIKON NSR 2005 i7은 바이너리, 세미 그레이 및 Z 모양과 같은 다양한 이미지 형식을 지원할 수 있습니다. 스테퍼에는 자기 중심 (magnetic center) 기능이 있으며, 이를 통해 웨이퍼가 완벽하게 중심이 됩니다. 또한, 내장 검사 시스템은 생산 중 불행한 오류 (예: 잘못된 정렬) 를 감지합니다. NSR 2005 i7 에는 모든 종류의 변위를 측정, 평가, 보상하는 모션 간섭계 (motion interferometer) 도 있습니다. NIKON NSR 2005 i7 은 다양한 아키텍처를 갖추고 있어 고객이 특정 요구 사항에 따라 유닛을 구성할 수 있습니다. NSR 2005 i7 은 PC 기반 운영 체제로 구동되며, 툴 컨트롤러, 매개변수 세터, aligner, 프로덕션 모니터 등 다양한 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 이를 통해 전체 리소그래피 프로세스를 완전히 제어 할 수 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 2005 i7 웨이퍼 스테퍼는 고급, 다용도 및 강력한 포토 마스크 리소그래피 자산입니다. 광학 (optic) 과 높은 정확도는 높은 처리량 (throughput) 과 올인클로저 (all-enclosed) 빌드와 결합하여 신뢰할 수있는 포토 마스크 생산이 필요한 다양한 산업에 이상적인 선택입니다.
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