판매용 중고 NIKON NSR 2005 i6 #293652747

NIKON NSR 2005 i6은 대용량 및 대용량 믹스 생산을 처리하도록 설계된 웨이퍼 스테퍼입니다. 탁월한 처리량을 제공하며, 비슷한 NIKON 시스템보다 최고 2.5 배 빠른 속도로 4 ~ 6 인치 기판 크기를 제공합니다. 이 장비는 "지능형 노출 (Intelligent Exposure)" 컴퓨터 제어 시스템을 통해 조명과 노출 시간을 자동으로 조정하여 모든 유형의 저항에 대한 최적의 결과를 얻습니다. NSR 2005 i6 은 복잡한 웨이퍼 패턴을 신속하게 처리할 수 있는 고성능 이중 노출 헤드와 함께 제공됩니다. 노출 헤드는 할로겐 (halogen) 과 수은 램프 (mercury lamps) 의 조합을 사용하여 자외선 노출을 최소화하고 노출 시간과 강도로 인한 저항 패턴 변화를 최소화합니다. 노출 헤드는 고해상도 1/4 미크론 레티클과 정밀 고배율 투영 광학을 사용하여 고해상도 이미지와 균일성을 보장합니다. 노출 헤드는 조율 가능한 광도 (tunable light intensity) 를 가지며 다른 크기와 유형의 포토 esist에 빠르게 적응할 수 있습니다. 광학은 매우 낮은 왜곡 레벨 (distortion level) 을 위해 만들어졌으며, 이미지 왜곡을 제거하고 고급 석판화 응용 프로그램의 경우 장치를 매우 정확하게합니다. NIKON NSR 2005 i6은 반복 가능하고, 탁월한 정밀도 스테퍼로, 사용 가능한 최첨단 옵티컬 시스템 중 하나입니다. 이 기계는 매우 낮은 정렬 오류 수준을 제공하며, 크기와 저항이 다른 기판을 빠르게 수용 할 수 있습니다. 이 도구는 높은 처리량과 뛰어난 균일성, 심지어 하이믹스 (High Mix) 생산 환경에서도 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 마지막으로, NSR 2005 i6 에는 모든 유형의 알고리즘을 처리할 수 있는 고성능 컨트롤러가 장착되어 있습니다. 좌표와 노출 시간을 쉽게 프로그래밍할 수 있으며, 자동 초점, 에지, 센터 결정, 일반 프로그래머블 (programmable) 논리 등의 기능을 포함합니다. 즉, 운영자가 보다 복잡한 작업에 집중할 수 있도록 하는 동시에 처리량과 균일성을 높일 수 있습니다.