판매용 중고 NIKON NSR 2005 i14E #9316105
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NIKON NSR 2005 i14E는 고급 집적 회로를 제작하기 위해 설계된 프로덕션 급 포토 리토 그래피 웨이퍼 스테퍼입니다. 자동 정렬 장비 (automated alignment equipment) 는 1 미크론 이내에서 정확하므로 웨이퍼의 매우 정확한 패턴화가 가능합니다. 이 시스템은 고급 2 빔 광학 설계를 갖추고 있으며, 전체 기판에서 포토 esist 균일성을 보장합니다. 이렇게 하면 웨이퍼 영역이 동일한 양의 노출 (exposure) 을 유지할 수 있고, 원하는 패턴이 정확하고 균일하게 복제됩니다. NIKON NSR 2005I14E 는 폭넓은 노출 파장 (exposure wavength) 과 호환되며, 연산자가 직접 특정 프로젝트에 적합한 파장을 선택할 수 있습니다. 이 장치 는 여러 가지 "렌즈 '종류 를 수용 할 수 있으며, 그 로 인해" 렌즈' 의 특정 한 작업 에 가장 적합 한 "렌즈 '를 선택 할 수 있다. 또한 마스크 스테이지 레벨링 (level) 을위한 자동화된 고급 머신 (advanced machine) 을 갖추고 있으며, 패턴화 프로세스의 정확성과 반복성을 극대화합니다. 이 도구에는 뛰어난 해상도를 보장하기 위해 교정 자산이 추가로 장착되어 있습니다. 이 모델은 처리 중인 기판 유형에 따라 스테이지 위치 (stage position) 와 렌즈 이동 (lens movement) 을 조정하여 최대 정밀도를 보장합니다. 이 프로세스는 고해상도 모니터 (High Resolution Monitor) 를 통해 모니터링되며, 운영자는 장비의 설정과 매개변수를 실시간으로 보고 조정할 수 있습니다. NSR 2005 i14E는 또한 먼지 보호, 무단 사용 방지, 전원 자동 끄기 등 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한 강력한 프로세스 진단 (process diagnostics) 기능을 통해 운영자가 잠재적인 문제를 해결하고 최적의 성능을 보장할 수 있습니다. NSR 2005I14E 는 혁신적인 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 로서 다양한 고급 기능을 갖추고 있어 리소그래피 (lithography) 공정의 최대 정확성과 안전성을 보장합니다. 자동 정렬 시스템 (Automated Alignment System) 및 먼지 보호 기능을 통해 고급 집적 회로 제조를 위한 안정적이고 효율적인 기계입니다. 뛰어난 기능과 진단 기능 (Diagnostic Capability) 을 통해 포토리토그래픽 (Photolithographic) 시설에서 귀중한 툴이 될 수 있습니다.
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