판매용 중고 NIKON NSR 2005 i12D #293817940

NIKON NSR 2005 i12D
ID: 293817940
i-Line stepper Numerical Aperture (NA): 0.5-0.63 Resolution: 350 nm DCO:  60 MMO: 70 Throughput (WPH): 70.
NIKON NSR 2005 i12D (Metrology Stepper) 는 고정밀 도량형 및 웨이퍼 제작을 위해 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 스텝퍼 (Stepper) 는 다양한 기능과 기능을 갖추고 있어 연구/제작 어플리케이션 모두에 이상적인 선택이 됩니다. NSR 2005 i12D에는 12 인치 스캔 필드가 있으며, 이는 대부분의 다른 스텝보다 더 큰 노출 영역을 제공합니다. 이 스테퍼는 최대 0.65 미크론 (미크론) 의 고해상도를 가지며, 최대 12 개의 다른 이미지 패턴을 연속적으로 처리 할 수 있습니다. 여기에는 낮은 진동, 높은 동적 정렬 시스템이 포함되어 있어 노출 중 상대 정확성이 보장됩니다. NIKON NSR 2005 i12D에는 고정밀 정렬 및 미세 이동 제어가 가능한 고속 스테이지 디자인이 있습니다. 또한 고정밀 제어 및 노출이 가능한 고급 웨이퍼 아날로그 이미징 시스템이 있습니다. 또한 NSR 2005 i12D 는 운영 애플리케이션에 중요한 안정적이고 효율적인 노출 프로세스를 제공합니다. 낮은 소음 수준과 결합된 NIKON NSR 2005 i12D 의 고속 (high speed) 은 수정에 빠르고 꾸준한 반응을 보장하므로 노출 시간을 최적화하고 제어할 수 있습니다. 도량형 애플리케이션의 경우, NSR 2005 i12D 는 성공적인 제조 프로세스에 필수적인 프로세스 매개변수 (process parameter) 를 측정 및 모니터링하는 데 필요한 절대 정확도를 제공할 수 있습니다. 스테퍼에는 고정밀 스테퍼 모터 (high-precision stepper motor) 와 레이저 간섭계 (laser interferometer) 가 내장되어 있으며, 모든 노출에 대해 측정 및 반복 가능한 매개변수를 제공합니다. 또한 NIKON NSR 2005 i12D에는 초장 노출 범위, 고수준 입자 감지, 최적화 된 기판 감지, 검사 및 측정을위한 고급 카메라 인터페이스 (advanced camera interface) 와 같은 고급 기능이 있습니다. 기판의 표면을 지속적으로 모니터링하여 최고의 정확도와 반복 성 (repeatability) 을 얻을 수 있습니다. NSR 2005 i12D 에는 실시간 피드백을 통해, 사용자가 노출 프로세스를 모니터링할 수 있는 통합 이미지 처리 시스템이 포함되어 있습니다. 전반적으로 NIKON NSR 2005 i12D는 고정밀 도량형 및 웨이퍼 제작을 위해 설계된 강력하고 안정적인 웨이퍼 스테퍼입니다. 빠른 속도, 낮은 소음, 높은 정확도와 결합된 다양한 기능과 기능을 통해 '연구/운영 애플리케이션' 에 이상적인 선택이 됩니다.
아직 리뷰가 없습니다