판매용 중고 NIKON NSR 2005 i11D #293831215

ID: 293831215
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
i-Line steppers, 6" Type: Step and repeat exposure system Control system: VAX Station Operational panel Recital loader Wafer loader Environmental chamber Lens controller Electricity box Polaris: Link from left side 1996 vintage.
NIKON NSR 2005 i11D 는 최첨단 lithography 애플리케이션의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 스테퍼/스캐너 장비입니다. 이 시스템에는 11형 풀 필드 이미징 기능과 높은 처리량이 제공됩니다. 첨단 디자인과 첨단 기술을 통해 드라이 필름 (dry film), 고굴절률 필름 (High refractive index film), 스핀 코팅 저항을 포함한 다양한 재료에 대해 고해상도, 고대비, 높은 처리량 결과를 제공합니다. NIKON NSR-2005I11D는 고급 렌즈 기술을 갖춘 LD 액티닉 조명 장치 (LD actinic illumination unit) 를 사용하여 안전하고 신뢰할 수있는 조명 소스를 높은 균일성으로 제공합니다. 또한 혁신적인 광 도구, 자동 초점, 직접 드라이브 스캐너, 자동 조작, 전원 제어 기능을 통해 사용자에게 최적의 성능을 제공합니다. NSR 2005 I 11 D 의 자동 초점 자산은 외부 입력 없이 빠르고 안정적인 초점 조정을 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 모델은 패턴의 높이와 모서리 품질을 자동으로 평가하여 초점 (focus) 을 지속적으로 조정합니다. 자동 조작 (auto-manipulation) 기능을 사용하면 레이어를 쉽고 빠르게 조작하여 특정 레이어를 노출하거나 패턴을 정렬할 수 있습니다. 이 장비에는 또한 사용자 친화적 인 터치 패널 디스플레이와 GUI (Graphical User Interface) 가 포함 된 인체 공학적 사용자 인터페이스가 있습니다. 따라서 시스템 운영 및 상태 정보를 빠르고 효과적으로 액세스할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 광범위한 프로세스 매개변수를 지원하며, 향후 검토를 위해 이를 기록할 수 있습니다. 이를 통해 리소그래피의 반복 가능하고 신뢰할 수있는 생산에 대한 절차를 따를 수 있습니다. NSR-2005I11D 는 최소 수준의 유지 보수 요건을 충족하도록 설계되었으므로 안정성이 뛰어납니다. 또한 핫 스왑 가능한 프로세서, 메모리, 머신 레벨 기능을 통해 기능 및 성능을 향상시킵니다. 이 도구는 생산 환경을 위해 특별히 설계되었으며, 가장 까다로운 리소그래피 (lithography) 애플리케이션의 요구를 충족시키기 위해 쉽게 확장할 수 있습니다. 전반적으로 NSR 2005 i11D 는 매우 고급적이고 안정적인 스테퍼/스캐너 (stepper/scanner) 자산으로, 최소한의 유지 보수 요구 사항으로 탁월한 성능을 제공합니다. 고급 기술과 사용자 친화적 인터페이스로, 이 모델은 운영 환경에 적합합니다.
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