판매용 중고 NIKON NSR 2005 i11C #9213592

NIKON NSR 2005 i11C
ID: 9213592
웨이퍼 크기: 6"
Stepper, 6" Reticle: 6".
NIKON NSR 2005 i11C는 NIKON에서 생산 한 고정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 그것 은 "실리콘 웨이퍼 '의 정확 한 제조 가 필수적 인" 반도체' 산업 의 여러 가지 응용 분야 에서 사용 하도록 설계 되었다. i11C는 매우 정밀한 웨이퍼 처리를 가능하게 하는 다양한 기능을 자랑합니다. NIKON NSR 2005 I 11 C에는 왜곡 교정과 이미지 높이 모니터링 장비를 갖춘 인라인, 2 단계 F2 렌즈가 장착되어 있습니다. 이를 통해 스테이지 동작을 정확하게 제어하고 초점 (focus) 동안 수차 억제를 최대 정확도로 제어할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 스테퍼는 큰 자유형 표면에서 최상위 수준의 정확성을 가능하게하는 부분 일관성 간섭계 (Partial Coherence Interferometer) 이미징 시스템을 자랑합니다. 이 장치는 다양한 웨이퍼 크기와 두께를 지원합니다. NSR 2005 i11C는 또한 새로운 내장 저항 노출 시스템을 갖추고 있습니다. 이 도구는 광원 (Light Source) 과 완만하게 기울어진 광학 (Optics) 을 내장하여 경량 (Light Loss) 을 줄이고 작은 공간을 노출시킬 수도 있습니다. 또한, 스테퍼에는 오염 물질 (contaminant) 로부터 광학을 보호하고 안정적인 광학 성능을 위해 꾸준한 온도를 유지하는 혁신적인 보호 인클로저가 포함되어 있습니다. NSR 2005 I 11 C에는 고속, 높은 정확도의 대기 시간 모터가 추가로 포함되어 있습니다. 이것은 웨이퍼 스캔 중 진동을 최소화하는 데 도움이됩니다. 또한, 스테퍼에는 대형 웨이퍼 (wafer) 를 통해 작은 칩을 포지셔닝할 수있는 정확한 스테이지 컨트롤이 포함됩니다. 또한 NIKON NSR 2005 i11C의 고급 카메라 자산은 처리 중 웨이퍼를 정확하게 정렬합니다. NIKON NSR 2005 I 11 C는 놀라운 정확성과 정확성을 제공하는 강력한 웨이퍼 스테퍼입니다. 이미지 높이 모니터링 시스템, 보호 엔클로저 (Protection Enclosure) 등 다양한 기능을 갖춘 이 장비는 정확한 정렬과 고해상도를 통해 손쉽게 웨이퍼를 제작할 수 있습니다.
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