판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9408445

NIKON NSR 2005 i10C는 반도체 리소그래피 분야에서 사용되는 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 스테퍼에는 스캐닝 (Scanning) 과 정렬 장비 (Alignment Equipment) 가 모두 포함되어 있으므로 제조업체가 원하는 제품을 여러 칩에 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 고정밀도 운영 및 신뢰성 있는 제품 수율을 보장하기 위해 이 시스템은 자동 정렬 (auto-alignment) 및 결함 검토 (defect review) 를 통해 열등한 제품의 생산 수익률을 더욱 보장합니다. NIKON NSR 2005I10C는 정밀도가 높은 리소그래피 결과를 제공하는 전체 필드, 단계 및 스캔 장치입니다. 수치 조리개 (NA) 가 각각 0.68, 0.9 및 0.78 인 고급 광학 기술 덕분에 기계는 최대 0.25 마이크로 미터의 최소 기능 크기를 패턴 화 할 수 있습니다. 또한, 정교한 스캔 및 정렬 도구 (scan and alignment tool) 를 사용하여 와퍼를 레티클에 안정적으로 정렬하고 작은 결함 영역을 스캔할 수 있습니다. 이 자산은 노출 제어를 위한 리소그래피 헤드 (lithography head) 를 갖추고 있으며, 생산용 다양한 노출 옵션을 제공합니다. NSR-2005I10C는 또한 8 축 모터 드라이브, 동적 정확도 제어, 완전 자동화 된 도구 알고리즘 및 자동 노출 제어를 갖춘 자체 단일 웨이퍼 스테이지가 장착되어 있습니다. 자동화된 교정 모델을 통해, 스테퍼는 분자와 웨이퍼 변형을 측정할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 노출 시간과 조명을 보다 정확하게 조정 할 수 있습니다. 이를 통해 칩에 안정적이고 정확한 기능을 노출시켜 생산성 (Production Accuracy) 과 수율 (Yield) 을 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 장비는 최대 6 인치/초의 고속 스캐닝을 특징으로하며, 제조업체는 단일 단계에서 여러 개의 칩을 생산할 수 있습니다. FOV (Field-of-View) 는 대부분의 기존 모델보다 크며 적용 범위와 스캔 시간이 더 큽니다. 또한, 그 선반 스캐닝 및 정렬 기능으로 인해 제조업체는 여러 칩에 걸쳐 패턴을 정확하게 스티치 (stitch) 할 수 있으므로 높은 수율 생산이 가능합니다. 전반적으로 NIKON NSR 2005 I 10 C는 정밀 웨이퍼 스테퍼로, 고사양 반도체 칩 생산에 탁월한 정확성과 안정적인 성능을 제공합니다. 탁월한 옵틱, 고급 스캐닝 및 정렬 시스템, 단일 웨이퍼 스테이지, 관찰시야 (FOV) 및 자동화 기능을 통해 다양한 노출 및 리소그래피 옵션을 제공하고 일관된 생산 결과를 얻을 수 있습니다.