판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9408135
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ID: 9408135
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Stepper, 8"
Control rack
KOMATSU BCE-5051-A Chiller
Electric source: NEMA Box for CVCF
(2) NEMA Switches
Computer type: NEST3
EPROM Chamber:
Type: SENDAI S04
Body size: 1950 mm
Set temperature:
Chamber: 25°C
IATC: 25°C
LLTC: 25°C
ROM Version:
Reticle:
Loader: RL-04V7.00
Stage: RA-81V1.70
Wafer:
Stage: ST-63V3.50, XY-63V2.90
Loader: WF-80V3.70
Sensor: WA-6DV2.50
Operational panel: PA-61V2.51
Lens controller: LC-6NV2.20
HEWLETT PACKARD 5517B Laser:
Lamp power: 1.75 kW
LSA Laser: 5 mW
Fixed reticle microscope: 20 mm
Wafer type: SILICON, 8"
Wafer stage: Ball screw
Chuck type: Ring
OF Detection type: Notch, 8"
Wafer loader: Type1
Notch wafer type: 90°
Right wafer carrier table
Reticle, 6"
FIA
Reticle library type: NIKON
13-Slots
Rack type: Right
SHRINC
Does not include:
In-line
LIA
PPD / PD
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C는 반도체 제조에 사용되는 고급 초정밀 웨이퍼 스테퍼입니다. 매우 높은 정확도와 반복성을 가진 칩 (Chips) 및 기타 부품을 생산할 수 있는 고급, 적응력이 뛰어난 기계입니다. NIKON NSR 2005I10C는 200mm 웨이퍼 플랫폼을 갖춘 자동화된 통신 중심 광 장비를 갖추고 있습니다. "광학 '" 시스템' 은 훌륭 한 빛 의 범위 와 선명도 를 제공 하며 여러 가지 "웨이퍼 '크기 를 수용 하도록 조정 할 수 있다. 광학도 반음계로 수정되어 나노 미터 해상도 이미지를 생성 할 수 있습니다. 또한 i10C에는 고속 10 메가 픽셀 (MP) 카메라와 고해상도 렌즈가 있어 이미지를 빠르고 정확하게 캡처할 수 있습니다. 이 카메라는 고주파 조명에서 자외선 (UV) 조명에 이르기까지 다양한 주파수를 캡처하여 이미지를 찍을 때 최고의 명암과 선명도를 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 스테퍼는 시간당 최대 5000 회 노출 (픽셀당 최대 10mm) 의 고해상도로 고품질 이미지를 제작할 수 있습니다. 이미지는 초당 9.6 기가바이트의 속도로 캡처되며 2 테라바이트의 솔리드 스테이트 (solid-state) 드라이브에 저장됩니다. i10C 의 고속 및 대용량 스토리지 (대용량) 는 데이터가 손실되지 않도록 합니다. NSR-2005I10C에는 강력한 정렬 장치도 있습니다. 5 축 보정 기술 (Physical and Electronic Component) 과 광학 (Optics) 을 모두 조정하여 정렬과 정확성을 보장할 수 있습니다. 정렬 기계는 칩 부품의 매우 정확한 머시닝 및 마이크로 패브릭을 허용합니다. i10C는 손쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었으며, 자가 진단 및 예방적 유지 보수가 가능합니다. 원격 모니터링을 위해 진단 서버에 공구를 연결할 수 있습니다. 이 기계는 또한 직관적이고, 사용자 친화적 인 운영 자산을 가지고 있으며, 초보자 운영자조차도 효율적으로 사용하고, 스테퍼를 최대한 활용할 수 있습니다. NSR 2005 i10C는 강력하고, 정확하며, 신뢰할 수 있는 웨이퍼 스테퍼로서 매우 뛰어난 고품질 이미지를 빠르고 정확하게 제작할 수 있습니다. 고급 옵틱, 고해상도 카메라, 강력한 정렬 (alignment) 모델로, 복잡한 초정밀 구성 요소를 제조하는 데 적합합니다.
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