판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9389865

NIKON NSR 2005 i10C 웨이퍼 스테퍼는 다재다능하고 고성능 반도체 장치 구성 도구입니다. 최대 0.25 "m '의 고해상도 리소그래피 프로세스를 비용 효율적으로 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장비는 고정밀 샘플 동작과 같은 고급 장비 기능을 제공합니다. 환경 진동에 대한 높은 안정성; 샘플 정렬을 돕는 자동 초점. 웨이퍼 스테퍼는 고해상도 광 투영과 광 근접 보정 (OPC) 을 포함한 광범위한 프로세스 범위를 결합합니다. 이는 Fine-line VLSI 운영 및 Nano-Scale 디바이스 제작의 까다로운 요구 사항에 적합합니다. 웨이퍼 스테퍼는 2 개의 레이저 간섭계, 2 개의 단계, 이중 레이어 리소그래피 헤드 및 가열 된 하중 잠금으로 구성됩니다. 이중 층 리소그래피 헤드는 고해상도 0.15 "m '의 노출이 가능하며, 하나의 노출에서 여러 노출 필드를 수용 할 수 있습니다. 가열된 하중 잠금 장치 (Heated loadlock) 는 장기 기계적 안정성이 필요하지 않으므로 노출 시간이 짧아 고품질 패턴을 생산할 수 있습니다. 웨이퍼 스테퍼에는 에어베어링 스테이지, 오디오 스코픽 노이즈 레벨 모니터링, 온도 및 압력 제어 (temper and pressure control), 진동 억제 시스템 (vibration suppression system) 등 더 큰 안정성을 보장하기 위해 여러 기능이 장착되어 있습니다. 에어 베어링 스테이지는 샘플을 정확하게 배치하여 최대 정확성과 안정성을 달성합니다. 청각 장치 (Audioscopic System) 는 기계의 소음 수준을 모니터링하며, 비정상적인 사운드가 감지되면 장치가 즉시 연산자에게 알립니다. 또한이 기계는 우수한 노출 및 오버레이 기능을 제공합니다. 노출 기능은 고해상도 (High Resolution) 와 명암비 (Contrast) 로 뛰어난 화질을 제공하는 반면, 오버레이 (Overlay) 기능은 정확한 패턴 정렬을 제공하여 최소한의 공차 구성 요소로 높은 프로세스 정확성을 제공합니다. 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 는 짧은 노출 시간에 고정밀 패턴 생산에 적합한 선택입니다. 탁월한 해상도와 정확도를 제공하며, 처리량 (throughput) 과 수율 (revield) 측면에서 높은 수준의 생산성을 제공합니다. 이 도구는 안전하고 다용도이며, 다양한 프로세스와 어플리케이션에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다.