판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9311681

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NIKON NSR 2005 i10C
판매
ID: 9311681
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1994
Stepper, 6" NEMA Box electric source ASAHI N1A Chamber Chamber width: 1800 mm Temperature: Chamber / LTC / IATC: 23°C Computer type: PDP11/93 HP 5517B Laser LSA Laser: 10 mW Fixed reticle microscope NIKON ITV Camera Wafer type: 6" Flat type Silicon wafer OF Detection: NIKON Original Type Wafer loader: NIKON Type2 (A1) Reticle library slots: (13) Main slots Wafer carrier table: Left and right Reticle, 6" LSA / FIA Sensor Bar code reader Rack type: Normal right position Set atmospheric pressure: Normal Altitude: Ground level Constant Backup data No Edge exposure No PPD No inline 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C는 고정밀 리소그래피 솔루션을 제공하는 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 노출 기술로 NIKON NSR 2005I10C를 사용하여 높은 해상도의 패턴과 모양을 만들 수 있습니다. 집적 회로, 마이크로 기계식 부품 및 마이크로 머신을 제조하기위한 고도로 고급 노출 장비입니다. NSR-2005I10C는 7.2 mm x 7.2 mm의 시야와 이론상 최소 벡터 크기 인 0.18äm을 제공합니다. 스텝 모터는 투영 광학을 빠른 속도와 효율적인 정렬을 제공합니다. 이 시스템은 또한 노출 제어 장치 (Exposure Control Unit) 를 갖추고 있어 모든 장치의 최적화된 처리를 위해 프로그램 가능한 전체 노출 시간 및 용량 속도를 허용합니다. NIKON NSR-2005I10C는 Multi-Fiber, Moon, Grid 및 Variable PR Mask 모드와 같은 복잡한 모양을 생산하기위한 고급 노출 모드를 제공합니다. 이것들은 웨이퍼를 동시에 여러 패턴으로 노출시키고 반도체 소자에 높은 종횡비 (aspect ratio) 구조의 제작을 허용합니다. 또한 NIKON NSR-2005 I 10 C는 다목적 레티클 체인저 (reticle changer) 를 갖추고 있어 다양한 레티클 (reticle) 중에서 선택하여 유연성을 높이고 이미지 옵션을 향상시킬 수 있습니다. 최대 수준의 이미지 품질을 제공하기 위해 NSR 2005I10C 는 고효율 옵틱 유닛 (Optics Unit) 을 탑재하여 광원 신호 (Light Signal) 의 수차가 매우 작습니다. 또한, 웨이퍼 스테퍼에는 2 개의 객관식 렌즈가 장착되어 있으며, 이는 다른 수준의 해상도를 생산하는 데 사용될 수 있습니다. NSR-2005 I 10 C는 내장된 안전 기능으로 설계되었으며, 비정상적으로 높은 온도 또는 습도를 감지하고 시스템을 자동으로 종료합니다. 또한, 이 도구는 통합 입자 카운터 (integrated particle counter) 를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 이미징 에셋에 존재하는 입자를 감지 할 수 있습니다. NSR 2005 i10C는 고해상도, 저렴한 리소그래피 솔루션에 이상적인 솔루션입니다. 첨단 노출 기술과 고효율 광학 모델 (Optics Model) 은 집적 회로, 미세 기계 부품, 마이크로 머신 제작에 탁월한 선택입니다.
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