판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9261832

NIKON NSR 2005 i10C
ID: 9261832
웨이퍼 크기: 4"-6"
Stepper, 4"-6".
NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper는 반도체 장치 제조에 사용되는 생산 등급 석판화 장비입니다. 이 리소그래피 (lithography) 시스템은 스캐너 (scanner) 로 알려진 더 큰 종류의 도구의 일부로, 매우 높은 배율로 칩의 개별 레이어를 확대/축소 및 촬영하여 높은 정확도를 달성합니다. NIKON NSR 2005I10C Wafer Stepper는 유명한 NIKON NSR 2005 i9C 시리즈의 베어본 버전이며 예산에 민감한 대량 생산 공장에 적합합니다. '공간' 과 '비용 효율적' 단위로서, 엄격한 공간 운영에 이상적인 제품입니다. 또한, 스테퍼는 펄스 너비 변조 초점 보상, 동시 광학 정렬, 개선 된 표시 필드 재구성 등 더 나은 작동을 보장하기 위해 여러 가지 발전이 있습니다. NSR-2005I10C 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 포토마스크 노출, 정렬 및 오버레이, 파형 제어, 데이터 획득 등 집적 회로 제작에 필요한 모든 주요 단계를 다룰 수 있는 기계입니다. 이 도구는 12 x 12 '스테이지가 장착되어 자산이 프레임 크기가 5,796mm x 4.455mm인 6' 및 8 '웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. 또한, 기계는 저항 코팅의 유형 A, B 및 C를 처리 할 수 있으며 최소 샷 속도는 95nm/s입니다. 운영자 안전성 향상을 위해 모델은 진동 분류 장비 클래스 2 (Vibration Classification Equipment Class 2) 등급을 준수하며, 이를 통해 소음 보호 환경에서 시스템을 운영 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 디스플레이 모드, 일반 (normal) 및 팝업 (pop up) 모드를 편리하게하고 다양한 유형의 웨이퍼 어댑터와 함께 캐리어를 쉽게 사용할 수있는 유연한 전송 인터페이스를 갖추고 있습니다. optics 측면에서 NIKON NSR-2005 I 10 C Wafer Stepper에는 UV 및 IR 범위에서 작업 할 수있는 대형 조리개 조명기가 장착되어 있습니다. 이를 통해 긴 초점 길이에서도 높은 에너지 노출이 가능합니다. 또한, 기계에는 빠르고 정확한 정렬 및 오버레이가 가능한 고속 중첩 이미지 인수 시설 (Overlapping Image Acquisition Facility) 이 장착되어 있습니다. 또한 정확한 초점 조정을 빠르게 수행 할 수 있습니다. NIKON NSR-2005I10C 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 다양한 유형의 반도체 장치 제조를 위해 효율적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 고급 리소그래피 (lithography) 기술과 컴팩트 한 디자인으로 다양한 유형의 생산 등급 응용 분야에 매력적인 옵션이되었습니다. 또한, 자산은 모든 프로세스에서 정확한 정확성을 보장하며, 최신 안전 규정을 준수합니다.
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