판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9239348

NIKON NSR 2005 i10C
ID: 9239348
Stepper, 4" Reticle, 6" 1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper는 집적 회로 및 기타 반도체 부품을 만드는 데 사용되는 정밀 이미징 기계입니다. 이 장비 는 정확 한 정확도 로 "웨이퍼 '와" 칩' 을 제조 할 수 있도록 설계 되었다. 웨이퍼의 각 레이어에 다이 패턴, 접촉 구멍, 비아 (vias) 및 기타 회로 형상을 생성할 수 있습니다. NIKON NSR 2005I10C의 빔 스팟 크기는 5 um, 숫자 조리개는 0.47입니다. 10 인치 F2.5 광학 장비와 0.75 배 감소 렌즈가 장착되어 있어 이미지 품질이 우수합니다. 또한 DUV (deep ultraviolet) 소스, Mx860 빔 포지션 컨트롤러 및 기타 다양한 차세대 구성 요소가 있어 시장에서 가장 발전된 웨이퍼 스테퍼 중 하나입니다. 스테퍼는 여전히 뛰어난 오버레이 제어를 유지하면서 최대 0.08 미크론의 해상도를 달성 할 수 있습니다. 또한 광범위한 전원 수준 (최대 10 와트) 을 처리할 수 있으며, 최대 45 초의 노출 시간을 처리 할 수 있습니다. 더욱이, 기계 는 규소, 석영, 유리 등 여러 가지 기판 으로 작동 하도록 설계 되었다. 또한 NSR-2005I10C 는 웨이퍼 (wafer) 를 올바르게 처리, 식각 (etched) 하기 위해 다양한 센서와 정렬 시스템을 사용하여 웨이퍼를 정확하게 정렬할 수 있습니다. 여기에는 3D 정렬 시스템, 패턴 중심 장치, 마이크로 번들 정렬 기계 및 다이 선택 도구가 포함됩니다. 또한, "웨이퍼 '가 영상 처리 과정 중 에 섬세 하게 처리 되도록 공기 베어링" 테이블' 이 사용 된다. NIKON NSR-2005I10C 는 효율성과 정확성으로 작동하도록 설계되어, 결함이 최소화된 고품질 이미지를 생산할 수 있습니다. 이 "에너지 '는 광범위 한 기판 으로 작동 할 수 있으며, 집적" 회로' 를 만드는 데 있어서 더 다양 할 수 있다. 또한, 정밀 이미징 기능이 결합되어 최소한의 노력으로 탁월한 결과를 얻을 수 있습니다.
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