판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9232572
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ID: 9232572
웨이퍼 크기: 4"
빈티지: 1995
Stepper, 4"
MCS2 Basic
Option: SMP
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Wafer sensor
System: NEST
Hard disk
Storage drive
Illumination type: Normal
Wafer stage:
Chuck type: Flat, 4"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: Movable
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi
Wafer loader:
Loader type
OF Type: Flat
Flat zone: Flat
In-line: Right
Cassette: Left, Right
Control rack position: Right
Reticle loader: Reticle size, 5"
(13) Slots
No PPD
No barcode system
Chamber type ASAHI
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C는 최첨단 옵틱, 센서 및 정밀 스캔 기술로 구성된 웨이퍼 스테퍼입니다. 주로 반도체 업계에서 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 전자 부품을 정확하게 제조하는 데 사용됩니다. NIKON NSR 2005I10C는 최대 웨이퍼 크기 200mm (7.87 인치) 를 수용 할 수 있으며 다기능 단계, 조명 광학 장비 및 최첨단 FWA (Feed Forward and Zonal Scanning Algorithm) 로 구성됩니다. 스테퍼의 노출 필드 크기는 30mm x 30mm이며 정렬 정확도는 0.75 미크론/장치입니다. 비슷한 도구보다 초단파 (UV/DUV) 조명과 조정 가능한 조도 제어 및 패턴 변형 기능을 갖추고 있습니다. NSR-2005I10C의 광학은 최적화 된 광학 시스템과 고정밀 다기능 단계로 구성됩니다. 광학에는 최첨단 이중 원격 센터 결합 조명 및 영상 장치 (Object Lens 및 Imaging Lens 모두 Telecentric) 가 포함됩니다. 이렇게 하면 해상도와 명암비가 향상되고, 더 넓은 시야가 제공됩니다. NIKON NSR 2005 I 10 C의 다기능 단계는 뛰어난 편평도, 표면 정확도 및 매끄러움을 제공하여 미세하고 정밀한 정렬을 지원합니다. 또한 뛰어난 토크 특성을 가진 모터를 사용하여 뛰어난 정확도와 스캐닝 속도 (scanning speed) 를 제공합니다. FWA (Zonal Scanning Algorithm) 는 정확하고 안정적인 정렬을 위해 높은 동적 범위 이미징을 보장합니다. NIKON NSR-2005 I 10 C에는 뛰어난 해상도, 명암비 및 처리량을 제공하는 고성능 이미징 머신이 장착되어 있습니다. 즉, 다양한 센서와 이미지 처리 알고리즘을 활용하여 빠르고 정확한 이미지 캡처를 보장합니다. 이 도구는 하위 픽셀 패턴을 처리하여 매우 정확한 패턴 배치를 보장합니다. NSR 2005 I 10 C 는 까다롭고 다양한 운영 요구 사항에 적합한 탁월한 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 풍부한 기능을 갖춘 자산 설계를 통해 안정성이 높으며, 프로세스 유연성과 확장성이 향상됩니다. 스테퍼는 고도의 집적 회로 생산에 이상적이며, 탁월한 비용 효율성을 제공합니다.
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