판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9205851
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ID: 9205851
Stepper
Resolution: 0.45
NA: 0.57
Exposure wave length: i-Line
Reduction: 1/5
Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2
Alignment accuracy: 0.09 (|x|+3s).
NIKON NSR 2005 i10C는 반도체 생산의 요구를 충족시키기 위해 설계된 차세대 고성능 step-and-scan 장비입니다. 이 스테퍼 시스템은 고급 이미지 처리 알고리즘과 고가용성을 제공합니다. NIKON NSR 2005I10C는 회사의 독점적 인 현대 딥 UV 광원을 사용하여 뛰어난 처리 능력을 갖춘 1.0 nm 이미징 해상도를 달성 한 최첨단 웨이퍼 스테퍼입니다. 이 장치의 스텝 앤 스캔 (Step-and-Scan) 모션 기능을 통해 고객은 모든 리소그래피 요구 사항을 보다 효율적으로 해결할 수 있습니다. NSR-2005I10C 는 뛰어난 성능과 안정성과 높은 자동화 기능을 제공합니다. 이 기능에는 1.0nm 구성용 고해상도 이미지 모드와 민감한 작업을 위한 10nJ/cm2 저용량 모드가 포함됩니다. NSR 2005I10C 는 또한 고유한 이미지 처리 알고리즘과 이지라이드 (EasyRide) 지능형 컨트롤러 (Intelligent Controller) 를 통해 패턴 데이터 및 프로세스 조건에 따라 작업을 모니터링하고 조정합니다. 이 기계는 수많은 자동화 (automation) 기능을 갖추고 있어, 생산성과 처리량을 향상시키는 동시에 수작업 (manual intervention) 의 필요성을 줄일 수 있습니다. NSR 2005 I 10 C 는 최대 100 개의 웨이퍼를 동시에 로드하여 고효율 처리량을 제공합니다. 자동 검사 도구 (Automated Inspection Tool) 는 또한 고속 웨이퍼 (Wafer) 및 기능 분석을 제공하여 문제를 신속하게 찾고 해결할 수 있도록 합니다. 또한, 이 도구는 초당 최대 800 개의 노출을 읽고 저장할 수있는 이미지 센서를 갖춘 강력한 FPGA (field-programmable gate array) 를 갖추고 있습니다. 이 자산은 또한 고밀도 정렬에 최적화된 고급 step-and-scan 하위 시스템을 제공합니다. NIKON NSR-2005 I 10 C는 다양한 리소그래피 요구를 충족하는 안정적이고 강력한 솔루션입니다. 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 과 견고한 자동화 기능을 통해 고객은 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델의 높은 처리량 (How Throughput) 및 고급 이미지 처리 (Advanced Image Processing) 알고리즘을 통해 다양한 디바이스의 생산을 쉽게 관리할 수 있습니다.
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