판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9198154

NIKON NSR 2005 i10C
ID: 9198154
Stepper, 6" Process: PEP(D).
NIKON NSR 2005 i10C는 NIKON의 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 반도체 생산을 위해 설계되었으며, 최고 해상도 0.25 nm (나노 미터) 의 전자 빔 리소그래피를 전문으로합니다. 고해상도 및 고급 정렬 기술로, 이 기계는 고급형 반도체 장치 제조를 위해 극자외선 (EUV) 과 전자빔 저항 구조의 매우 정확하고 반복 가능한 배치를 가능하게합니다. 이 기계는 니콘 (NIKON) 독점 스테이지와 렌즈 (lens) 와 듀얼 스핀 제어 장비 (Dual Spin Control Equipment) 의 독특한 조합으로 구동됩니다. NIKON NSR 2005I10C의 조명원은 25kV 가속 전압이며, 웨이퍼 스테퍼는 다양한 저항 재료와 기능 크기를 처리 할 수 있습니다. 머신의 평면 내 가속 (in-plane acceleration) 모듈은 재료 처리량을 최적화하는 반면, 초과 조명 기능은 정확한 패턴화를 보장합니다. NSR-2005I10C 는 자동 초점 시스템 (auto-focusing system) 을 탑재하여 웨이퍼 (wafer) 가 장치를 통해 이동함에 따라 저항 이미지를 높은 정렬로 유지합니다. 또한 모든 시스템 작업을 단일 사용자 인터페이스로 통합하는 편리한 소프트웨어 제어 (Software Control) 기능을 제공합니다. 다국어 다중 영역 머신은 메모리 장치 생산, 고급 생체 분자 구조, 유전체 연구 구성 요소 (component for genomics research) 의 전 세계적으로 적용 할 수 있습니다. 설계 측면에서 볼 때 NSR 2005 I 10 C는 컴팩트한 프레임과 경량 (light-weight) 로드를 통해 자동화된 운영 회선 내에서 설치하여 효율적으로 작동할 수 있습니다. 또한, 이중 스핀 제어 도구 (Spin Control Tool) 는 고유 한 동심원 스핀들 (Concentric-spindle) 자산을 사용하며, 이는 뛰어난 속도와 편평성을 가진 고해상도 이미징에 매우 정확한 움직임을 제공합니다. NIKON NSR-2005I10C에는 이미지 선명도를 높이고 이미지 오류를 줄이기 위해 반복 가능한 진동 격리 모델도 장착되어 있습니다. 마지막으로, 기계는 향상된 웨이퍼 온도 안정성을 제공하는 환경 제어 기능 (Environmental Control function) 을 내장하고 있으며, 자체 모니터링 기능으로 장비를 효율적으로 실행할 수 있습니다. 전반적으로 NSR 2005I10C는 고품질 반도체를 생산하도록 설계된 고급 웨이퍼 스테퍼입니다. 고급 정렬 기술, 유연한 소프트웨어 기능, 효율적인 환경 제어 기능을 갖춘 NIKON NSR 2005 I 10 C는 하이엔드 반도체 생산을 최적화할 것입니다.
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