판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #9085273

NIKON NSR 2005 i10C 웨이퍼 스테퍼는 반도체 및 포토 마스크 제조에 사용되는 고정밀 노출 도구입니다. 탁월한 성능과 해상도와 비타협적인 표준, 정확성과 신뢰성을 결합한 제품입니다. 이는 현재 사용되고 있는 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 어플리케이션에 대해 최고 수준의 이미지 품질을 보장합니다. NIKON NSR 2005I10C는 최소한의 스테이지 위치 불안정성을 달성하기 위해 설계된 특수 고 내구성 플라스틱 코팅 유리 레이아웃을 사용하여 턴 테이블 스테이지를 제공합니다. 턴테이블은 통합 모터 드라이브 (integrated motor drive) 와 자체 정렬 모터 (self-aligning) 스트래들 (motor straddle) 을 사용하여 웨이퍼 위에 +/- 5 발의 정확도를 허용합니다. 웨이퍼는 400mm × 400mm 범위로 이동 할 수 있으며 반복 가능성 속도는 0.3äm입니다. 웨이퍼는 1kW 할로겐 램프, 할로겐 광원 및 컴퓨터 제어 펄스 너비 변조 드라이브로 조명됩니다. 이를 통해 원하는 결과를 얻기 위해 정확하게 제어 가능한 노출 매개변수 (exposure parameters) 를 사용할 수 있습니다. 또한, 고급 냉각 시스템 (Advanced Cooling System) 은 높은 처리량뿐만 아니라 균일한 온도 및 최적의 노출 균일성을 보장합니다. NSR-2005I10C에는 고급 선형 포토 다이오드와 2 개의 CCD로 구성된 SynchroScan 이미징 장치가 장착되어 있습니다. 이 이미징 시스템에서는 자동 임계 치수 측정, 스테이지 정렬, TTL 정렬, 패턴 피크, 멀티필드 각인 등 다양한 기능과 기능을 사용할 수 있습니다. 이 모든 작업은 고해상도, 정확도, 즉 구조를 0.4µm 이하로 검사할 때도 가능합니다. NIKON NSR-2005 I 10 C 웨이퍼 스테퍼는 여러 자동화 및 모니터링 기능도 제공합니다. 이것은 수동 노동을 줄이고 실수를 예방하는 데 도움이됩니다. 또한, 스테퍼는 직렬 I/F 또는 이더넷을 사용하는 이중 포트 출력 박스와 원격 제어 기능으로 설계되었습니다. 따라서 원격 작업, 데이터 수집 (data gathering), 스테퍼 (stepper) 의 다양한 기능을 보다 유연하게 관리할 수 있습니다. 전반적으로 NSR 2005 i10C는 탁월한 정확성, 유연성 및 성능을 제공합니다. 최대 수준의 이미지 품질을 위해 웨이퍼 스테퍼 (Wafer Stepper) 는 광범위한 노출 매개변수, 자동화 및 모니터링 기능을 제공하여 전체 반도체 제작 프로세스를 간소화합니다. 결과적으로 NSR 2005 I 10 C 웨이퍼 스테퍼는 반도체 및 포토 마스크 제작을위한 필수 도구입니다.