판매용 중고 NIKON NSR 2005 i10C #293606710
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ID: 293606710
Stepper
Resolution: 0.45
Reduction: 1/5
NA: 0.57
Exposure wave length: i-Line
Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2.
NIKON NSR 2005 i10C는 정밀도가 높은 고성능 웨이퍼 스테핑 장비입니다. 니콘 (NIKON) 이 개발 한이 제품은 매우 짧은 노출 시간과 높은 처리량을 특징으로합니다. 이 시스템은 대용량 메모리 (Large Memory) 와 고속 장치 (High-Speed Device) 의 처리량을 극대화하기 위해 특별히 설계되었습니다. 여기에는 Deep-UV 엑시머 레이저 소스, 고정밀 옵틱 및 통합 직접 이미징 장치가 포함됩니다. NIKON NSR 2005I10C는 다양한 웨이퍼 터널링 기술을 위해 고속 이미징 기능과 초단거리 노출 시간을 활용합니다. 뛰어난 오버 스캔 정확도는 정확한 석판 프로세스에 이상적입니다. 가변 이미징 각도 (variable imaging angle) 를 사용하면 에치 패턴을 보다 정확하게 제어 할 수 있습니다. NSR-2005I10C의 optics는 0.75의 매우 높은 NA를 특징으로하며, 이는 매우 정밀하고 선형 왜곡을 줄입니다. 높은 동적 변조를 통해 정확한 오버레이를 정확하고, 결함을 줄이고, 16nm 이상의 해상도를 향상시킬 수 있습니다. 단순화 된 고급 광학 설계는 또한 수차를 줄여 정확한 웨이퍼 처리를 제공합니다. NIKON NSR-2005 I 10 C에는 성능을 향상시키는 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 이 도구에는 내장된 자가 모니터링 (self-monitoring) 기능이 내장되어 있어 운영자가 쉽게 에셋을 해결할 수 있습니다. 또한 자동 초점 정렬 (auto-focus alignment) 기능은 초점 위치에서 매우 향상된 정확성과 반복성을 제공합니다. 또한, NSR 2005 I 10 C에는 여러 패턴 영역 세트별로 웨이퍼를 신속하게 스캔 할 수있는 멀티 스테이지 스캔 모델이 있습니다. 이 장비는 Optic 활용도를 향상시켜 생산성과 처리량을 높일 수 있도록 설계되었습니다. 간단히 말해서, NIKON NSR-2005I10C는 정확하고, 안정적이며, 효율적인 웨이퍼 처리를 위해 설계된 고급 고품질 웨이퍼 스테퍼 시스템입니다. 고속 이미징 기능, 매우 짧은 노출 시간, 멀티 스테이지 스캔 장치 (multi-stage scan unit) 를 갖춘 이 시스템은 대용량 메모리 및 고속 장치 어플리케이션에 적합합니다. NIKON 고급 광학 기술은 정확한 스캐닝과 향상된 해상도를 보장합니다. 다양한 기능을 통해 높은 처리량과 뛰어난 성능을 제공합니다.
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